セラミック on Warm IR Spot Heating

赤外線エミッタ用セラミックエンドキャップ

Thu, 23 Jul 2026 09:56:24 +0800

より優れたIRエミッターの秘訣：セラミック製のエンドキャップ
半導体の乾燥や硬化処理を行っている方なら、おそらく「グリーン」で鉛を含まない規格への移行が進んでいることに気づいているでしょう。これに対応するため、多くの人々がIRエミッターを利用しています。

従来の対流式オーブンは空気を加熱するだけですが、IRエミッターは直接基板を加熱します。これにより、処理時間が短縮され、より効率的になります。しかし、何も溶けたり短絡したりしないようにするには、しっかりとした接続が必要です。

ファブヒーター用セラミックランプホルダー

Fri, 26 Jun 2026 01:59:30 +0800

リソグラフィー工程においては、90℃での弱い加熱処理を行う際、温度が0.3℃でも変動してしまうと、全体の線幅にばらつきが生じてしまいます。温度の均一性は単なる好みではなく、必須の条件なのです。

技術的に重要な点

私たちが開発したこのセラミック製のランプホルダーは、フォトレジスト処理用の加熱装置として使われます。ここでは、熱管理が非常に重要であり、クリーンルーム内の粒子数も厳格に管理されます。短波長のハロゲンランプは、高純度のセラミック製のケースに収められており、安定した放射熱を供給するため、ウェーハ全体の温度差は±0.1℃以内に保たれます。

セラミック製の界面はガス放出を防ぎ、また、ホルダーの形状も最適化されているため、影や熱勾配が発生しにくくなっています。その結果、再現性のある温度制御が実現し、24時間365日稼働しても安定した温度が維持されます。

なぜ工場で活躍するのか

弱い加熱処理や強い加熱処理を行う際、熱管理はフォトレジストの感度と装置の処理速度の両方に合わせる必要があります。このホルダーによって加熱プロファイルが安定し、重要な寸法の管理も安定して行えます。

セラミックヒーター PTC

Wed, 03 Jun 2026 01:55:50 +0800

電圧変動は赤外線暖房の静かな故障要因である。ある夜は熱が安定しているが、翌晩にはちらつき、輝度が落ち、部品が早期に焼損する。これは不均一な発光やヒーターの寿命短縮として感じられる。今回開発したPTCセラミックヒーターは、ライン電圧が予測不能に変動しても快適性を維持できるよう、アクティブな回路補償を組み込んでいる。

内部で実際に起きていること
コアには自己調整型のPTCセラミック素子を使用している。温度が上昇すると抵抗値が増加し、これにより自然と電流が抑制されて過熱を防ぐ。この特性に加えて、電圧補償回路がライン電圧を監視し、リアルタイムで電力供給を調整する。この組み合わせにより、広範囲な電圧変動の中でも赤外線出力を安定化し、午前10時も午後10時も放射熱が変わらない状態を実現している。また、クォーツ管アセンブリや内部配線をサージストレスから保護し、熱出力の均一化と部品温度の管理に寄与する。