http://warm-ir-heater-spot.com/ja/tags/%E3%82%B5%E3%83%9D%E3%83%BC%E3%83%88/ Recent content in サポート on Warm IR Spot Heating Hugo ja Sun, 21 Jun 2026 03:00:12 +0800 http://warm-ir-heater-spot.com/ja/posts/cryogenic-system-support-heater/ Sun, 21 Jun 2026 03:00:12 +0800 http://warm-ir-heater-spot.com/ja/posts/cryogenic-system-support-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-spot.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="低温システム用サポートヒーター"></p> <p>ウェーハ乾燥やフォトレジスト処理の際に、温度が変動すると、その影響を即座に感じることができます。収率が低下してしまいます。クライオステージが設定値に到達した瞬間、サポートヒーターがウェーハ表面を固定する必要があります。もし何らかのずれや不均一さがあると、線幅のばらつきや汚れが発生します。</p>