http://warm-ir-heater-spot.com/ja/tags/%E3%82%A6%E3%82%A8%E3%83%BC%E3%83%8F/ Recent content in ウエーハ on Warm IR Spot Heating Hugo ja Wed, 17 Jun 2026 12:03:01 +0800 http://warm-ir-heater-spot.com/ja/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ Wed, 17 Jun 2026 12:03:01 +0800 http://warm-ir-heater-spot.com/ja/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-spot.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="ウエハー除湿用ヒーターランプ"></p> <p>製造ラインでは、ウェーハ表面に付着した<a href="https://o-yate.net">水分</a>が、露光後にウェーハの寸法を変化させてしまう可能性があります。湿度が制御されていないと、ソフトベイクやハードベイクの過程でフォトレジストの接着不良が発生しやすくなります。ウェーハ上の水分を除去するためのヒーターランプは、迅速かつ確実に熱を供給し、リソグラフィー処理前にウェーハの温度を安定させ、ベイクサイクル全体を通じて温度が一定に保たれます。</p> <p><strong>内部で重要なのは何か</strong> 私たちは、石英製のケース内に短波長の赤外線素子を搭載したこのランプを開発しました。これにより、エネルギーが直接ウェーハに伝わり、周囲の装置が損傷することはありません。その結果、有効領域全体で±0.1℃という高い温度均一性が実現され、温度の変動も少なくなります。また、封止された構造とクリーンルーム適合型の材料を使用しているため、クラス1～100の環境でも問題なく<a href="https://o-yate.com">動作</a>します。24時間365日稼働してもドリフトが少なく、数千時間にわたってもランプの出力が安定しています。これにより、予期せぬ停止やトラブルが減少します。</p>