ウェーハ on Warm IR Spot Heating

省エネ型ウェーハヒーター

Sun, 19 Jul 2026 10:26:08 +0800

赤外線ランプがウェーハを台無しにするのを防ごう

高負荷な生産時に赤外線ランプが破損してしまった経験がある人なら、それがどれほど厄介なことかわかるでしょう。単に生産停止になるだけではありません。
クォーツ管が破損すると、まるでガラス製の手榴弾のようになってしまいます。結果として、あちこちに破片や金属片が散乱し、高価なウェーハが汚染されてしまい、そのロットは廃棄処分になってしまいます。本当にひどい状況です。
私たちは、そうした事態を防ぐために特別にウェーハヒーターを設計しています。

ウェーハ硬化ランプ用反射器

Sat, 18 Jul 2026 02:10:34 +0800

ウェハーの硬化処理における熱の無駄遣いを止めましょう。
標準的な赤外線ランプには、問題点があります。それは、熱があらゆる方向に放出されてしまうということです。半導体の硬化処理を行う際、これは単なるエネルギーの無駄に過ぎません。反射板がない場合、その熱の大部分がウェハーではなく、装置の壁に当たってしまいます。これは大変厄介です。装置の内部が非常に高温になり、作業員が火傷したり、正確に動かすべき部品が変形してしまったりする可能性があります。

ウェーハ処理装置用温度センサー

Mon, 13 Jul 2026 18:07:13 +0800

スマートファブで正確な温度データを取得するには
スマートファブを構築する際、まず最初にやるべきことは、接触型センサーを使わないことです。本当にそうです。
高処理能力のウェーハ処理装置では、遅延が許されません。さらに、物理的なプローブを使用すると、汚染のリスクが高くなります。だからこそ、私たちは赤外線センサーを利用します。これにより、ウェーハに触れることなく、リアルタイムで温度データを取得できます。そして、そのデータは直接PLCやSCADAシステムに送信されます。実に簡単です。

ウェハードライヤーランプ交換用電球

Tue, 02 Jun 2026 04:14:42 +0800

リソグラフィ工程では状況をよく理解しているはずだ。ウェハードライヤーのランプがたった0.2℃ずれても、重要寸法のバイアスが規格外に押し出される可能性がある。ソフトベイクとハードベイクは単なる熱処理ではなく、溶剤除去、ポリマーの架橋、線幅制御を設定する工程だ。ランプが不安定になると、その時点で歩留まりは目に見える前に低下する。