Tubo riscaldatore a quarzo a onde medie

Thu, 04 Jun 2026 01:18:34 +0800

Sulla linea da 300mm, la performance della cottura del fotoresist è il fattore critico per la uniformità di overlay e CD. Pochi gradi di deriva sulla temperatura del wafer durante il soft bake o l’hard bake possono far uscire le dimensioni critiche dalla specifica e compromettere ore di lavoro. Il riscaldatore deve raggiungere rapidamente il setpoint, mantenerlo senza oscillazioni e non rilasciare particelle nella camera.

Cosa conta sotto il cofano
Utilizziamo un tubo riscaldante al quarzo a onda media per un calore radiante rapido con controllo termico preciso. Questo spettro a onda media si accoppia efficacemente con fotoresist e film polimerici, garantendo quindi un rapido aumento della temperatura senza superamenti. L’uniformità della temperatura a livello wafer si mantiene entro ±0,1°C su tutta la superficie di cottura, e la ripetibilità resta stabile da ciclo a ciclo, anche in funzionamento continuo 24/7. Il tubo è compatibile con camere bianche di Classe 1–100, con generazione di particelle nulla durante i cicli termici. L’output rimane stabile per oltre 5.000 ore, con una diminuzione inferiore al 5% dell’intensità radiante.

Quarzo on Warm IR Spot Heating

Tubo riscaldatore a quarzo a onde medie