Come asciugare le wafer MEMS senza problemi
Quando si producono sensori MEMS, l’ultima cosa che si vuole è che una goccia di umidità o una traccia di solvente rovini la wafer stessa. Ma non si può semplicemente utilizzare il calore per asciugarle: ciò potrebbe danneggiare il materiale e causare la formazione di residui indesiderati.
Ecco perché ricorriamo ai riscaldatori a onde infrarosse a breve lunghezza d’onda. Invece di sprecare tempo ad riscaldare l’aria intorno alla wafer, i riscaldatori a infrarossi inviano energia direttamente nel substrato. È un metodo semplice e efficace: nessun catalizzatore chimico, niente complicazioni.
Come funziona davvero
Immaginate che si tratti di un colpo mirato: il riscaldatore emette fotoni che vengono assorbiti dalle molecole d’acqua, facendo sì che il liquido evapori quasi istantaneamente.
La cosa migliore è che non c’è aria in movimento. Chiunque abbia lavorato in una sala pulita sa che l’aria in movimento rappresenta un veicolo per polvere e particelle. I riscaldatori a infrarossi, invece, permettono un processo “asciutto”: non è necessario utilizzare agenti chimici per trasmettere il calore.
Risparmio di energia… e di problemi
Questo è il vantaggio più grande: non c’è bisogno di quelle enormi camere termiche che richiedono un’ora per raggiungere la temperatura desiderata. Con i riscaldatori a infrarossi, si raggiunge la temperatura desiderata in pochi secondi. Questo significa un notevole risparmio energetico. Inoltre, non ci sono emissioni di VOC causate dagli agenti chimici utilizzati per l’asciugatura. È davvero un metodo più pulito per lavorare.
Gli svantaggi
Tuttavia, non è magia: ci sono dei limiti. I riscaldatori a infrarossi funzionano solo se c’è una linea visiva diretta tra il riscaldatore e la wafer. Se il supporto su cui si trova la wafer ha forme strane o tasche profonde, si creeranno delle “zone fredde” dove il calore non può arrivare. Bisogna quindi pianificare bene la posizione dei riscaldatori. Se si cerca di risolvere questi problemi aumentando semplicemente l’intensità del calore, si rischia di danneggiare i bordi della wafer. Serve quindi un po’ di pianificazione per ottimizzare la configurazione dei riscaldatori.
Abbiamo progettato questi sistemi in modo che possano essere inseriti al posto delle vecchie unità energeticamente intensive. Un consiglio importante: assicuratevi che la vostra fonte di alimentazione possa gestire l’aumento di carico quando i riscaldatori vengono accesi. Una volta che i riscaldatori sono in funzione, tutto procederà senza problemi.