Tabung pemanas kuarsa gelombang sedang

Thu, 04 Jun 2026 01:18:34 +0800

Pada jalur 300mm, performa pemanggangan photoresist adalah penentu utama untuk ketepatan overlay dan keseragaman dimensi kritis (CD). Perpindahan suhu hanya beberapa derajat pada wafer selama soft bake atau hard bake dapat menyebabkan dimensi kritis keluar dari spesifikasi dan merusak jam-jam kerja. Pemanas harus segera mencapai setpoint, mempertahankan suhu tanpa osilasi, dan tidak pernah menghasilkan partikel ke dalam ruang pemrosesan.

Apa yang penting di balik sistem

Kami menggunakan tabung pemanas quartz gelombang menengah untuk pemanasan radiasi cepat dengan kontrol termal yang ketat. Spektrum gelombang menengah ini terserap secara efisien oleh photoresist dan film polimer, sehingga pemanasan meningkat dengan cepat tanpa overshoot. Keseragaman suhu pada level wafer terjaga dalam rentang ±0,1°C di seluruh permukaan pemanggangan, dan repeatabilitas tetap konsisten dari siklus ke siklus, bahkan saat operasi 24/7. Tabung ini kompatibel dengan ruang bersih kelas 1–100, tanpa menghasilkan partikel selama siklus termal. Output tetap stabil selama lebih dari 5.000 jam, dengan penurunan intensitas radiasi kurang dari 5%.

Kuarsa on Warm IR Spot Heating

Tabung pemanas kuarsa gelombang sedang