Hentikan pemanasan berlebihan pada peralatan di ruang bersih
Kebanyakan orang menggunakan pemanas konvensional untuk memanaskan suatu benda. Namun, dalam lingkungan semikonduktor, hal ini justru akan menimbulkan masalah. Mengapa? Karena panas cenderung menyebar ke mana-mana.
Ketika udara dipanaskan, segala sesuatu akan menjadi panas. Dinding-dinding bagian dalam mesin pun akan menjadi sangat panas, sehingga permukaannya menjadi berbahaya untuk disentuh. Belum lagi, hal ini akan mengacaukan suhu secara keseluruhan di ruang bersih tersebut. Sungguh kacau.
Cara yang lebih baik
Kami menemukan bahwa lampu inframerah berfrekuensi rendah merupakan solusinya. Bayangkan saja lampu tersebut seperti senter, bukan pemanas biasa. Cahaya inframerah merambat secara lurus. Anda hanya perlu mengarahkan lampu tersebut ke wafer atau substrat yang akan dipanaskan. Energi cahaya tersebut akan langsung sampai ke tujuannya. Udara di sekitarnya dan dinding-dinding peralatan tetap dingin, karena mereka tidak menyerap gelombang cahaya tersebut seperti yang dilakukan oleh benda yang dipanaskan.
Mengatur penggunaan lampu dengan tepat
Anda membutuhkan banyak energi dalam ruang yang kecil. Itulah sebabnya kami biasanya menggunakan tabung kuarsa-halogen. Tabung ini mampu menghasilkan suhu yang tinggi dengan cepat, sehingga tidak perlu menggunakan elemen pemanas yang besar dan berat.
Namun, ada triknya: jarak antara lampu dan benda yang dipanaskan harus diatur dengan tepat. Jika lampu terlalu dekat, akan timbul titik-titik panas yang merusak hasil pekerjaan. Jika terlalu jauh, maka efek “fokus laser” tidak akan tercapai. Kami biasanya menggunakan reflektor untuk memfokuskan sinar cahaya tersebut. Dengan begitu, energi cahaya akan tetap berada di benda yang dipanaskan, dan tidak menyebar ke bagian lainnya.
Kelemahan metode ini
Tidak ada yang sempurna. Lampu berkepadatan tinggi ini membutuhkan arus listrik yang besar, sehingga suhu di bagian lampu pun sangat tinggi. Memang, bagian luar kabinet tetap dingin, tetapi bagian lampu sendiri akan sangat panas. Anda perlu memastikan bahwa kipas pendingin atau sistem pendingin air berfungsi dengan baik. Jika sistem pendingin tidak berfungsi dengan baik, lampu tersebut akan cepat rusak.
Dan demi Tuhan, jangan gunakan kabel PVC biasa. Kabel tersebut akan meleleh. Gunakanlah kabel berbahan PTFE atau serat fiberglass agar kabel tersebut tidak meleleh akibat panas.