כיצד לייבש את שבבי ה-MEMS בלי בעיות
כאשר מייצרים חיישני MEMS, הדבר האחרון שרוצים הוא שטיפה אחת של לחות או כתם של חומר ממיס יקלקלו את השבב. אבל אי אפשר פשוט לחמם את השבבים בחום – זה יגרום ללחץ על החומר ויתקבלו שאריות לא רצויות.
לכן אנו משתמשים בחיממים באמצעות קרינת אינפראאדום בגלים קצרים. במקום לבזבז זמן על חימום האוויר סביב השבב, קרינת האינפראאדום שולחת אנרגיה ישירות אל החומר עצמו. זה יעיל ונקי – אין צורך בחומרים כימיים או בתהליכים מורכבים.
איך זה עובד בפועל
ניתן לחשוב על זה כעל מתקפה ממוקדת: החיממן שולח פוטונים, ומולקולות המים קולטות אותם, מה שגורם לנוזל להתאדות כמעט מיד.
היתרון הגדול? אין צורך באוויר שעובר סביב השבב. אם אתם עובדים בחדר נקי, אתם יודעים שזרימת האוויר מהווה מקור לאבק וחלקיקים. קרינת האינפראאדום היא שיטה “יבשה” – אין צורך בחומרים מסוכנים או בחומרי חיבור המכילים עופרת כדי להעביר את החום.
חיסכון באנרגיה (ובעצבים)
זה באמת מרגיע – אין צורך בחדרי חימום ענקיים שלוקחים שעה להתחמם. עם נורות אינפראאדום, ניתן להגיע לטמפרטורה הרצויה תוך שניות בלבד. זה חיסכון גדול בעלויות החשמל – יש ירידה גדולה בצריכת האנרגיה לכל שבב, בהשוואה לשיטות הישנות. בנוסף, אין צורך להתמודד עם גזים מזהמים שנוצרים בשימוש בחומרים כימיים לייבוש. זו דרך נקייה יותר לעבוד.
החסרונות
זה לא קסם – יש כמה חסרונות. קרינת האינפראאדום יכולה לחדור רק בקו ראייה. אם למשטח שעליו נמצא השבב יש צורה לא סדורה או חריצים עמוקים, ייווצרו אזורים קרים שבהם החום לא יגיע. צריך לתכנן נכון את מיקום הנורות. אם ניסיתם לפתור את הבעיה על ידי הגדלת העוצמה של החיממן, ייתכן שהקצוות של השבבים ייפגעו. צריך תכנון קפדני כדי שהמערכת תעבוד כראוי.
עיצבנו את המערכות האלו כך שהן יתאימו בדיוק למקום בו עמדו המערכות הישנות והצרכניות באנרגיה. רק דבר אחד חשוב: ודאו שמערכת החשמל שלכם יכולה לעמוד בעומס הראשוני שנוצר כאשר הנורות נדלקות. לאחר מכן, הכל יעבוד כראוי.