Tubes infrarouges en quartz clair 2700W

Fri, 19 Jun 2026 02:53:29 +0800

Sur le site de fabrication, le traitement du photo-résistant est mesuré en degrés, c’est tout simple. Une variation de 2 °C pendant le processus de cuisson peut entraîner des écarts dans les dimensions critiques du produit final. Même une seule particule issue du chauffage peut suffire à compromettre la qualité du produit. Le tube infrarouge en quartz clair de 2700 W a été conçu pour faire face à ces défis.

Ce qui est important sur le plan technique Vous obtenez 2700 W d’énergie infrarouge grâce à un revêtement en quartz clair, ce qui permet un chauffage direct avec une faible masse thermique. L’augmentation de température se fait rapidement, et le contrôle thermique sur la wafer est précis. En pratique, cela signifie que les paramètres de cuisson sont répétables d’une série à l’autre. La géométrie du tube assure une illumination uniforme, et les matériaux utilisés permettent de réduire les émissions gazeuses – ce qui est crucial lorsqu’on travaille en salle propre.

Tube de chauffage en quartz à ondes moyennes

Thu, 04 Jun 2026 01:18:34 +0800

Sur la ligne 300mm, la performance du durcissement du photoresist est déterminante pour la superposition et l’uniformité des dimensions critiques. Une dérive de quelques degrés sur la surface du wafer pendant le soft bake ou le hard bake peut entraîner des dimensions critiques hors spécifications et provoquer la mise au rebut de plusieurs heures de travail. Le chauffage doit atteindre rapidement la consigne, la maintenir sans oscillation, et ne jamais générer de particules dans la chambre.

Tube on Warm IR Spot Heating

Tubes infrarouges en quartz clair 2700W

Tube de chauffage en quartz à ondes moyennes