Audit énergétique pour le séchage en usine

Thu, 23 Jul 2026 09:48:43 +0800

Arrêtez de transformer vos équipements coûteux en fours ! Avez-vous déjà remarqué que le séchage par convection standard transforme en fait tout le compartiment de l’équipement en une sorte de grand grille-pain ? Cela arrive parce que l’air est chauffé. Et lorsque l’air est chauffé, tout est chauffé, y compris les parois intérieures. C’est un véritable désastre : vos équipements chers commencent à surchauffer, et les opérateurs doivent constamment faire attention à ne pas toucher les parties chaudes de la machine.

Lampe de séchage pour fabrication d OLED

Tue, 09 Jun 2026 01:29:05 +0800

Sur la ligne de lithographie OLED, la dérive n’est pas tolérable. Une variation de seulement un demi-degré Celsius lors du séchage du photoresist suffit à modifier les dimensions critiques et à recycler un niveau complet de masque. Il faut une lampe de séchage qui considère le budget thermique comme un paramètre de procédé réel, pas comme une réflexion après coup.

Ce qui compte en interne
Nous avons conçu la lampe de séchage OLED autour d’émetteurs halogènes à ondes courtes insérés dans des enveloppes en quartz. Elle délivre un rayonnement NIR à montée rapide qui pénètre le photoresist sans brûler l’empilement. L’uniformité au niveau wafer reste dans ±0,1°C sur toute la zone de cuisson, ce qui permet aux profils de pré-séchage (soft bake) et de durcissement (hard bake) de bien correspondre à la recette.
Elle est compatible salle blanche jusqu’à la classe 1–100, grâce à une assemblage contrôlé en particules et des matériaux sans émission gazeuse, maintenant ainsi la contribution particulaire de la lampe en dessous des spécifications du procédé. De plus, le système répète les points de consigne de façon fiable, jour après jour, ce qui évite la dérive des budgets de gravure et de développement.

Séchage on Warm IR Spot Heating

Audit énergétique pour le séchage en usine

Lampe de séchage pour fabrication d OLED