http://warm-ir-heater-spot.com/fr/tags/quartz/ Recent content in Quartz on Warm IR Spot Heating Hugo fr Thu, 04 Jun 2026 01:18:34 +0800 http://warm-ir-heater-spot.com/fr/posts/medium-wave-quartz-heater-tube/ Thu, 04 Jun 2026 01:18:34 +0800 http://warm-ir-heater-spot.com/fr/posts/medium-wave-quartz-heater-tube/ <p><img src="http://warm-ir-heater-spot.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Tube de chauffage en quartz à ondes moyennes"></p> <p>Sur la ligne 300mm, la performance du durcissement du photoresist est déterminante pour la superposition et l’uniformité des dimensions critiques. Une dérive de quelques degrés sur la surface du wafer pendant le soft bake ou le hard bake peut entraîner des dimensions critiques hors spécifications et provoquer la mise au rebut de plusieurs heures de travail. Le chauffage doit atteindre rapidement la consigne, la maintenir sans oscillation, et ne jamais générer de particules dans la chambre.</p>