چگونه ویفرهای MEMS را بدون مشکل خشک کنیم؟
هنگام ساخت سنسورهای MEMS، آخرین چیزی که میخواهیم این است که حتی یک قطره رطوبت یا لکهای از ماده حلکننده، ویفر را خراب کند. اما نمیتوانیم فقط از حرارت برای خشک کردن ویفر استفاده کنیم؛ زیرا این کار باعث فشار بر ماده و ایجاد آلودگیهایی میشود.
به همین دلیل، از گرمکنهای مادون قرمز کوتاهموج استفاده میکنیم. به جای اینکه انرژی را صرف گرم کردن هوای اطراف ویفر کنیم، انرژی مستقیماً به درون ماده منتقل میشود. این روش ساده و بدون نیاز به کاتالیزورهای شیمیایی است.
نحوه عملکرد آن
میتوانید آن را مانند یک حمله هدفمند در نظر بگیرید؛ گرمکن فوتونهایی را ارسال میکند که مولکولهای آب آنها را جذب میکنند و در نتیجه مایع تقریباً بلافاصله تبخیر میشود.
نکته خوب این است که هیچ جریان هوایی وجود ندارد؛ اگر تجربه کار در اتاقهای پاکسازی را داشته باشید، میدانید که جریان هوا در واقع راهی برای رسیدن گرد و غبار به ویفر است. روش مادون قرمز، روشی «خشک» است؛ برای انتقال حرارت، نیازی به استفاده از مواد شیمیایی خطرناک یا لحیمهای حاوی سرب نیست.
صرفهجویی در انرژی
این روش واقعاً رضایتبخش است؛ دیگر نیازی نیست از آن اتاقهای گرمایشی بزرگ استفاده کنیم که یک ساعت طول میکشد تا گرم شوند. با استفاده از لامپهای مادون قرمز، میتوانیم در عرض چند ثانیه به دمای مورد نظر برسیم. این کار باعث کاهش قابل توجه هزینههای برق میشود؛ همچنین دیگر نیازی نیست با آلایندههای شیمیایی مواجه شویم. این روش، روشی تمیزتر برای کار است.
معایب
البته، این روش جادویی نیست؛ معایبی نیز دارد.
گرمکنهای مادون قرمز فقط در خط دید کار میکنند؛ اگر ویفر دارای شکل عجیبی باشد، سایههایی ایجاد میشود و در نتیجه نقاطی وجود دارد که حرارت به آنها نمیرسد. برای رفع این مشکل، باید به درستی لامپها را قرار دهیم؛ اگر سعی کنیم با افزایش توان لامپها، این مشکلات را برطرف کنیم، احتمالاً لبههای ویفر خراب خواهد شد. برای این کار، نیاز به برنامهریزی دقیقی وجود دارد.
ما این سیستمها را طوری طراحی کردهایم که بتوانند جایگزین دستگاههای قدیمی و پرمصرف شوند. فقط یک نکته مهم: مطمئن شوید که منبع تأمین انرژی شما بتواند تحمل افزایش ناگهانی توان لامپها را داشته باشد. پس از راهاندازی لامپها، همه چیز درست خواهد شد.