دیگر اجازه ندهید گرما در دستگاههای خشککنی ویفرها هدر برود!
مشکل لامپهای مادون قرمز استاندارد این است که گرما را در تمام جهات پخش میکنند. وقتی که در محفظه خشککنی نیمههادی کار میکنید، این گرما در واقع انرژی هدررفتهای است. بدون استفاده از بازتابنده، بخش عمدهای از این گرما به دیوارههای دستگاه برخورد میکند، نه به سطح ویفر. این وضعیت باعث میشود دیوارههای دستگاه بسیار گرم شوند؛ این امر میتواند باعث آسیب به اپراتورها یا تغییر شکل قطعاتی شود که باید دقیق بمانند.
راهحل: استفاده از بازتابندههای دقیق
ما این مشکل را با استفاده از بازتابندههای دقیق حل میکنیم؛ این بازتابندهها باعث میشوند تا تابش مادون قرمز در یک پرتو متمرکز و کنترلشده منتشر شود.
میتوانید آن را مانند یک فلاش در نظر بگیرید؛ نه یک لامپ ساده. با بازتاباندن انرژی به سمت هدف، میتوانید گرمای بیشتری روی سطح ویفر ایجاد کنید، بدون اینکه بقیه بخشهای دستگاه داغ شوند. دیوارههای دستگاه نیز خنک باقی میمانند، و انرژی مورد نیاز نیز به درستی استفاده میشود.
انتخاب مواد مناسب
بسته به طول موج لامپ، معمولاً از آلومینیوم با خلوص بالا یا کوارتز پوشیده شده با طلا استفاده میشود. طلا، استاندارد طلایی برای لامپهای مادون قرمز با طول موج بلند است؛ اما قیمت آن بالاست. برای دستگاههایی که از طول موج کوتاه استفاده میکنند، آلومینیوم گزینه مناسبی است؛ زیرا قابل اعتماد است و کار را به خوبی انجام میدهد.
نکته مهم: فاصله لامپ و ویفر
نکته مهم این است که فاصله بین لامپ و ویفر باید دقیقاً مناسب باشد. اگر فاصله خیلی کم باشد، نقاط گرم ایجاد میشود که باعث خرابی ویفرها میشود؛ اگر فاصله خیلی زیاد باشد، پرتو گرما پخش میشود و تمام قدرت آن از بین میرود.
تأثیر این روش بر فرآیند کار
نکته خوب این است که میتوانید لامپها را با ولتاژ کمتری راهاندازی کنید و همچنان به دست آوردن دمای مورد نظر را داشته باشید. فنهای خنککننده نیز نیازی به کار سختتری ندارند؛ این موضوع برای همه مزیتبخش است. البته باید مراقب باشید؛ زیرا با تمرکز پرتو گرما، شدت گرما در آن نقطه بسیار بالا خواهد بود. بنابراین باید در کنترل دما بسیار دقت کنید؛ در غیر این صورت ممکن است ویفرها خراب شوند. اما اگر دما را به درستی کنترل کنید، دستگاه خنک باقی میماند و فرآیند کار نیز دقیق انجام میشود.