Vakuumkompatibler Infrarotheizer

Sat, 25 Jul 2026 02:44:44 +0800

Mehr Wärme genau dorthin, wo sie gebraucht wird
Wenn man in Vakuum arbeitet, kämpft man gegen die Gesetze der Physik. Man kann sich nicht auf die Konvektion verlassen – schließlich findet keine Wärmeübertragung statt. Übrig bleibt nur die Strahlung – und da wird es kompliziert.
Jeder Watt Energie, der nicht auf die Wafer trifft, ist nutzlose Wärme. Das ist ein Problem, das die Kühlsysteme und Vakuumpumpen bewältigen müssen. Um diese Verschwendung zu verhindern, haben wir in unsere Infrarotheizer goldbeschichtete Reflektoren eingebaut.

Infrarotheizer für Vakuumkammern

Fri, 10 Jul 2026 02:10:47 +0800

Hören Sie auf, die Vakuumkammer als Ofen zu nutzen!
Jeder, der in einer Halbleiterfabrik gearbeitet hat, kennt dieses Problem: Man muss das Wafer auf Temperatur bringen – doch man möchte die Vakuumkammer nicht in einen Ofen verwandeln.

Herkömmliche Infrarotlampen sind im Grunde genommen einfach nur Leuchtmittel mit erhöhter Leistungskraft – sie strahlen Wärme in alle Richtungen ab. Im Vakuum hat diese Energie keinen Ausweg mehr. Sie prallt einfach gegen die Innenwände der Anlage. Schon bald overhitzt das Gerät, und die Mitarbeiter müssen sich vor Verbrennungen schützen.

Vakuum on Warm IR Spot Heating

Vakuumkompatibler Infrarotheizer

Infrarotheizer für Vakuumkammern