Energieauditt für die Fabriktrocknung

Thu, 23 Jul 2026 09:48:45 +0800

Hören Sie auf, Ihre teuren Geräte in „Öfen“ zu verwandeln!
Ist Ihnen schon aufgefallen, dass die herkömmliche Konvektionsheizung dazu führt, dass der gesamte Gerätekasten zu einer Art „riesigem Toaster“ wird? Das liegt daran, dass die Luft erhitzt wird. Wenn die Luft erhitzt wird, werden auch alle anderen Oberflächen mitgeheizt – einschließlich der Innenwände des Gerätekastens. Das ist chaotisch: Ihre teuren Geräte überhitzen, und die Bediener müssen ständig darauf achten, nicht die heißen Bauteile zu berühren.

Wir haben beschlossen, gegen diese Situation anzukämpfen – und stattdessen wurde eine direktionale Infrarotheizung eingesetzt.
Der Trick liegt in der Richtung.
Stellen Sie sich das wie eine Taschenlampe vor – statt eines Raumheizers. Infrarotlampen strahlen elektromagnetische Wellen in einer geraden Linie aus. Die Energie verteilt sich nicht im Raum, sondern wird nur dann weitergeleitet, wenn sie tatsächlich auf das Werkstück trifft. Dadurch wird sichergestellt, dass die Wärme direkt auf das Werkstück wirkt – ohne dass die Innenwände des Gerätekastens unnötig erhitzt werden.

OLED Herstellungs Trocknungslampe

Tue, 09 Jun 2026 01:29:05 +0800

On der OLED-Lithographie-Linie sind Drift und Abweichungen nicht akzeptabel. Eine halbe Grad Celsius während des Photoresist-Backvorgangs reicht aus, um kritische Abmessungen zu verschieben und eine gesamte Maskenebene auszuschießen. Es wird eine Trocknungslampe benötigt, die das thermische Budget als echten Prozessparameter behandelt und nicht als nachträglichen Gedanken.

Was unter der Haube zählt
Die OLED-Trocknungslampe wurde um kurzwellige Halogenstrahler in Quarzgehäusen konzipiert. Sie liefert ein schnell ansteigendes NIR, das in den Photoresist eindringt, ohne den Schichtaufbau zu beschädigen. Die Wafer-gleichmäßigkeit bleibt im Backbereich innerhalb von ±0,1°C, sodass Soft-Bake- und Hard-Bake-Profile tatsächlich dem Rezept folgen.
Die Lampe ist bis zur Reinraumklasse 1–100 kompatibel, dank partikelkontrollierter Montage und Materialien ohne Ausgasung. Dadurch bleibt der Partikelbeitrag der Lampe selbst unterhalb der Prozessspezifikation. Das System wiederholt die Sollwerte zuverlässig, Tag für Tag, damit die Ätz- und Entwicklungsbudgets stabil bleiben.

Trocknen on Warm IR Spot Heating

Energieauditt für die Fabriktrocknung

OLED Herstellungs Trocknungslampe