http://warm-ir-heater-spot.com/de/tags/mems/ Recent content in MEMS on Warm IR Spot Heating Hugo de Thu, 30 Jul 2026 13:43:45 +0800 http://warm-ir-heater-spot.com/de/posts/why-infrared-drying-meets-lead-free-and-green-standards-for-mems-wafer-processing/ Thu, 30 Jul 2026 13:43:45 +0800 http://warm-ir-heater-spot.com/de/posts/why-infrared-drying-meets-lead-free-and-green-standards-for-mems-wafer-processing/ <p><img src="http://warm-ir-heater-spot.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Heizgerät zum Trocknen von MEMS Sensorwafern"></p> <p><strong>Wie man die MEMS-Wafern trocknet – ohne Probleme</strong></p> <p>Beim Herstellen von MEMS-Sensoren möchte man auf keinen Fall, dass ein Tropfen Feuchtigkeit oder ein Schmutzfleck auf der Waferoberfläche zu Schäden führt. Doch man kann die Wafer nicht einfach mit Hitze behandeln – dadurch würde das Material belastet werden und es entstünden unerwünschte Rückstände.</p> <p>Deshalb verwenden wir Kurzwellen-Infrarotheizgeräte. Anstatt die Luft um die Wafer zu erhitzen, leiten diese Geräte die Energie direkt in das Substrat. Es handelt sich dabei um einen direkten Prozess – ohne <a href="https://o-yate.com">chemische</a> Katalysatoren und ohne Komplikationen.</p>