http://warm-ir-heater-spot.com/de/tags/inhaber/ Recent content in Inhaber on Warm IR Spot Heating Hugo de Fri, 26 Jun 2026 01:59:30 +0800 http://warm-ir-heater-spot.com/de/posts/ceramic-lamp-holder-for-fab-heater/ Fri, 26 Jun 2026 01:59:30 +0800 http://warm-ir-heater-spot.com/de/posts/ceramic-lamp-holder-for-fab-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-spot.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Keramiklamppfosten für Heizrohr"></p> <p>Im Bereich der Lithografie ist eine sanfte Erhitzung bei 90 °C notwendig – selbst Abweichungen von 0,3 °C können dazu führen, dass die Linienbreiten im gesamten Produktionsprozess stark schwanken. Temperaturgleichmäßigkeit ist keine Option, sondern eine notwendige Voraussetzung.</p> <p><strong>Was technisch wichtig ist:</strong> Wir haben diesen Keramikhalter für Heizgeräte in der Verarbeitung von Fotoresisten entwickelt. Dabei ist die Wärmeabgabe sehr wichtig – außerdem darf die Anzahl der Partikel in den Reinräumen nicht zu hoch sein. Kurzwellige Halogenlampen befinden sich in einem hochreinen Keramikkörper, der eine gleichmäßige Strahlungswärme bereitstellt. Dadurch bleibt die Temperatur auf der Oberfläche des Wafern innerhalb von ±0,1 °C konstant.</p>