Ersatzlampe für Wafer Trockner

Tue, 02 Jun 2026 04:14:42 +0800

Auf dem Lithographie-Floor wissen Sie, wie es läuft: Ein Wafer-Trockner-Lampe, die auch nur um 0,2°C driftet, kann den kritischen Dimensionsversatz direkt außerhalb der Spezifikation treiben. Softbake und Hardbake sind keine bloßen thermischen Formalitäten – sie bestimmen die Lösungsmittelentfernung, die Polymervernetzung und die Linienbreitenkontrolle. Wenn die Lampe zu schwanken beginnt, sinkt der Ertrag, bevor Sie es überhaupt bemerken.

Was unter der Haube zählt
Wir spezifizieren diese Ersatzlampen für Halogen-Kurzwellenausgang, abgestimmt auf Quarzglashüllen, damit sie schnell reagieren und einen stabilen Spektralausgang halten. Über die Backfläche bleibt die Wafer-gleichmäßigkeit innerhalb von ±0,1°C, was das thermische Budget des Photoresists schützt und den Prozess reproduzierbar macht. Die Lampe ist Reinraum-kompatibel von Klasse 1 bis Klasse 100, mit null Partikelgenerierung im Backbereich und einer abgedichteten Anschlussstelle, die Ausgasungen verhindert. Der Leistungsbedarf ist auf die thermische Last des Trockners abgestimmt, ohne Überschwinger, und die Filamentgeometrie ist für Dauerbetrieb 24/7 ausgelegt – die Ausgangsdrift bleibt über 5.000 Stunden unter 5 %.

Austausch on Warm IR Spot Heating

Ersatzlampe für Wafer Trockner