Beendigung des Albtraums der Kontamination der Wafer in CNT-Heizungen
Wer bereits in der Herstellung von CNTs gearbeitet hat, kennt dieses Problem nur allzu gut. Man arbeitet unter hohem Druck – und plötzlich passiert es: Eine Infrarotlampe geht kaputt.
Es handelt sich dabei nicht einfach um einen kaputten Glühfaden. Es ist eine Katastrophe. Plötzlich sind die Wafer mit Quarzsplittern und Halogengas besprüht. Ein kleiner Defekt kann dazu führen, dass die ganze Charge zerstört wird. Das ist ein Problem, das niemand haben möchte.
Genau deshalb haben wir unsere Infrarotheizungen so konstruiert, wie wir es getan haben. Wir wollten diese Kettenreaktion von Fehlern bereits im Keim ersticken.
Umgang mit den „Schrapnellen“
Wir verlassen uns nicht einfach auf eine dünne Quarzwand, um alles zusammenzuhalten. Das wäre zu riskant. Stattdessen umhüllen wir die Komponenten mit einer zusätzlichen Schutzschicht. Man kann das als Sicherheitsnetz betrachten. Falls eine Lampe durch thermische Belastung kaputtgeht, fängt die Schutzschicht die Scherben auf. Kein Glasstaub, keine Partikel, die auf die Wafer fallen können. So bleibt die Herstellungszone sauber.
Der Kampf gegen Hitze
Wenn man maximale Leistung nutzt, wird es an der Stelle, wo der Glühfaden mit dem Quarz verbunden ist, besonders schwierig. Dort versagen die meisten Lampen. Die Dichtung versagt, Sauerstoff gelangt hinein, der Glühfaden bricht – und die Lampe explodiert.
Um das zu verhindern, verwenden wir verstärkte Endkappen. Dadurch bleibt die Temperatur an dieser Stelle konstant. Die Lampe hält dadurch länger. Es handelt sich dabei um eine einfache Lösung – doch sie spart viel Ärger.
Der faire Kompromiss
Seien wir ehrlich: Ein Schutzschild bedeutet, dass ein Teil der Infrarotenergie nicht mehr durchdringen kann. Dadurch könnte die Wärmestärke, die die Wafer erreicht, um 3–5 Prozent sinken.
Aber das ist ein kleiner Preis für die Gewissheit, dass die Charge nicht durch herumfliegende Glasscherben zerstört wird.
Ersetzung der Lampen
Wir haben außerdem dafür gesorgt, dass diese Geräte leicht austauschbar sind. Wenn eine Lampe ihren Dienst quittiert, kann man einfach das ganze Gerät herausnehmen. Man muss sich keine Sorgen machen, dass kleine Glasscherben im Inneren zurückbleiben. Man muss nur das neue Gerät anschließen, die Dichtigkeit überprüfen – und schon kann man weitermachen. Stellen Sie sicher, dass die Belüftung funktioniert, damit alle übrig gebliebenen Gase entfernt werden können. Dann ist alles in Ordnung.