Proč je infračervené záření lepší než horký vzduch při sušení polovodičů
Pokud stále používáte k sušení polovodičů horký vzduch, v podstatě bojujete proti času.
Přemýšlejte o tom, jak funguje konvekce – musíte nejprve zahřát veškerý vzduch a stěny komory, než si wafer vůbec všimne změny teploty. Je to pomalé. Pokaždé, když měníte úroveň teploty, nastává zbytečná prodleva. V provoze s vysokou kapacitou se tyto sekundy summují na velké množství ztraceného času.
Vyhnete se prostředníkům.
Zde přichází na scénu infračervené záření. Místo zahřívání vzduchu vysílají infračervené lampy elektromagnetické záření přímo na povrch polovodiče. Není potřeba čekat, až se vzduch ohřeje – žádná prodleva.
Používáme vodotěsné lampy, aby pára a vlhkost z procesu oplachování nepoškodily elektroniku. Jelikož je přenos energie přímý, doba sušení se zkrátí z minut na sekundy. Výkon se zvyšuje, protože wafery už nemusí jen tak ležet a čekat na sušení.
Teplo přesně tam, kam potřebujete.
Používáme speciální úpravy a povlaky, abychom zabránili proniknutí vody během přechodu od oplachování ke sušení. Díky vysokoz-density infračervenému systému můžete směrovat teplo přesně tam, kde se nachází kapalina. Nevznikají tak ty otravné „studené body“, které se vždy objevují v trubicích s prouděním vzduchu.
Ale musíte být opatrní.
Infračervené záření je silné. Pokud je rychlost dopravy waferů špatná nebo jsou lampy příliš blízko, hrozí přehřátí malé oblasti a deformace tenkých waferů. Je potřeba trochu času na naladění vzdálenosti a síly záření. Jakmile je to nastaveno, je to skvělé.
Úspora prostoru na podlaze.
Nejlepší na tom je, že můžete se zbavit obrovských ventilátorů a složitých rozvodů vzduchu. Nahrazení konvekční trouby infračerveným systémem zmenšuje prostor potřebný na umístění zařízení. Stačí zapojit lampy, nastavit časovače a umístit je do vaší současné linky. Vašim inženýrům se to také bude líbit – už nebudou muset řešit údržbu ventilátorů nebo výměnu filtrů. Celý proces se tím zjednoduší.