Při zahřívání fotorezistu jde o hru na sekundy – je potřeba dosáhnout přesnosti ±0,1 °C. Jakákoli odchylka totiž zničí požadované výsledky a čipy se stanou odpadem. Pokud lampa nefunguje správně, musíte za to zaplatit – znovuvýroba, odpadní materiál a neplánované výpadky. Proto jsme vyvinuli troubu s vlákny z karbidu křemíku, která může pracovat bez přestávek s konstantní teplotou.
Jádrem lampy je emitér krátkovlnného infračerveného záření – karbid křemíku umístěný v kvartové obálce, upravený pro rychlou a stabilní reakci. Cílem je dosáhnout rovnoměrnosti teploty ±0,1 °C v celé oblasti zahřívání, přičemž opakovatelnost mezi jednotlivými partiemi zůstává v rozmezí ±0,5 °C. Výstupní teplota lze regulovat jak pro měkké, tak i tvrdé zahřívání, přičemž systém řízení teploty zajišťuje její stálou hodnotu.
Lampa je vhodná pro použití v prostorách s čistou atmosférou, určených pro použití v prostředích třídy 1–100, bez vzniku jakýchkoliv částic. Nevzniká žádné uvolňování plynů, které by mohlo kontaminovat fotorezist. Viděli jsme, že tyto lampy mohou fungovat více než 5 000 hodin s poklesem výkonu menším než 5 %. Jsou navrženy pro nepřetržitou práci 24/7.
V laboratoři litografie nahrazují tyto lampy starší halogenové a střednovlnné systémy – není potřeba měnit receptury. Díky nim dochází k rychlejší stabilizaci teploty, méně výkyvů teploty během zahřívání a nižší spotřeba energie na jeden čip. Lampa se vejde do standartních troub, odpovídá mezinárodním standardům zařízení na výrobu polovodičů a poskytuje spolehlivý tepelný profil pro okamžitou certifikaci.
Instalace je velmi jednoduchá – stačí seřídit polohu lampy a zajistit správný průtok chladicí kapaliny. Nesoulad reflektorů nebo nedostatečné chlazení může narušit správný tepelný profil. Před zapnutím lampy je potřeba ověřit geometrii komory a napájení. Jakmile je vše správně nastaveno, lampa funguje jako dokonalý zdroj tepla – přesně tam, kde je potřeba.