في قاعة المعالجة، يتم قياس عملية معالجة المواد الحساسة للضوء بالدرجات، وهذا أمر بسيط للغاية. فأي تغير في درجة الحرارة بمقدار 2 درجة مئوية أثناء عملية التسخين يمكن أن يؤثر على الأبعاد الحرجة للمادة المعالجة، كما أن وجود جسيم واحد من الجهاز الحراري يكفي لتدمير جودة المنتج. تم تصميم أنبوب الأشعة تحت الحمراء من نوع “كوارتز شفاف” بقوة 2700 واط خصيصًا لمواجهة هذه الظروف.
ما الذي يهم من الناحية التقنية؟ يوفر هذا الأنبوب طاقة أشعة تحت الحمراء بقوة 2700 واط، وذلك عبر غلاف من الكوارتز الشفاف، مما يعني تسخينًا مباشرًا مع كتلة حرارية منخفضة. كما أن عملية التسخين تتم بسرعة، والتحكم في درجة الحرارة على سطح الرقاقة دقيق للغاية. في الواقع، يعني ذلك إمكانية الحصول على نتائج متكررة في عملية معالجة المواد الحساسة للضوء، بالإضافة إلى استقرار درجة الحرارة في كل دفعة من الرقائق. كما أن تصميم الأنبوب يضمن توزيعًا متساويًا للإضاءة، وتم اختيار المواد المستخدمة للحد من انبعاث الغازات، وهو أمر مهم عند العمل في بيئة نظيفة.
لماذا يعمل هذا الأنبوب في بيئتنا؟ في عمليات الطباعة الضوئية ومعالجة المواد الحساسة للضوء، يؤثر التوزيع المتساوي لدرجة الحرارة بشكل مباشر على دقة أبعاد الخطوط وجودة المنتج. باستخدام هذا الأنبوب، يمكن الحصول على نتائج متسقة في تسخين الرقائق، مما يقلل من الحاجة إلى إعادة المعالجة. كما أن التصميم المناسب للأنبوب يساعد في منع تكون الجسيمات على سطح الرقاقة، بالإضافة إلى تقليل الوقت اللازم بين عمليات التسخين. والنتيجة هي وقت معالجة متوقع، وتقليل النفايات، بالإضافة إلى تقليل التوقفات غير المخطط لها.
ما الذي يجب أن تعرفه؟ يتطلب التركيب مطابقة تصميم الأنبوب مع تصميم الفرن أو الطاولة الحرارية. إذا لم يكن التباعد صحيحًا، فسوف تظهر مناطق ساخنة على سطح الرقاقة. يجب التحقق من توافق الجهد والموصلات، بالإضافة إلى التخطيط لعزل حراري مناسب لمنع تأثير الأجزاء المجاورة على درجة الحرارة. يجب التعامل مع الكوارتز كمادة قابلة للاستهلاك، ويجب تنظيفه بشكل دوري، بالإضافة إلى تحديد موعد لاستبداله، حتى لا يحدث مشاكل في منتصف عملية المعالجة.