Trên dây chuyền 300mm, hiệu suất nung photoresist là yếu tố then chốt đảm bảo sự đồng đều về overlay và kích thước nét (CD). Chỉ cần lệch vài độ trên bề mặt wafer trong quá trình soft bake hoặc hard bake có thể khiến kích thước nét vượt quá giới hạn quy định, dẫn đến phải loại bỏ nhiều giờ làm việc. Bộ gia nhiệt phải đạt nhanh đến điểm đặt, giữ ổn định không dao động và không phát sinh hạt bụi trong buồng.
Những điểm quan trọng bên trong
Chúng tôi sử dụng ống gia nhiệt quartz sóng trung cho nhiệt bức xạ nhanh với kiểm soát nhiệt độ chặt chẽ. Phổ sóng trung này tương tác hiệu quả với photoresist và màng polymer, cho phép tăng nhiệt nhanh mà không bị vượt quá nhiệt độ mong muốn. Độ đồng đều nhiệt độ trên wafer duy trì trong phạm vi ±0.1°C trên bề mặt nung, và tính lặp lại ổn định qua từng chu trình vận hành, kể cả khi chạy liên tục 24/7. Ống nhiệt tương thích với phòng sạch cấp độ Class 1–100, không tạo ra hạt bụi trong quá trình chu trình nhiệt. Công suất phát xạ duy trì ổn định trên 5.000+ giờ sử dụng, giảm không quá 5% cường độ bức xạ.
Lý do phù hợp với dây chuyền litho
Trong các module lithography track và coat/bake, bộ gia nhiệt này đáp ứng chính xác yêu cầu nhiệt. Các hồ sơ soft bake và hard bake ổn định nhanh hơn, giúp rút ngắn thời gian chu trình. Tiêu thụ năng lượng giảm do phản ứng sóng trung trực tiếp, không gây thất thoát. Kết quả là tăng tỷ lệ thành phẩm nhờ kiểm soát chiều rộng đường nét nhất quán, giảm số lượng lô phế phẩm và giảm thời gian ngừng máy không kế hoạch. Thiết kế phù hợp với tiêu chuẩn thiết bị bán dẫn quốc tế và được công nhận là giải pháp tương đương cho các nền tảng hiện có.
Ghi chú thực địa trước khi chỉ định
Việc lắp đặt cần đảm bảo hướng và khoảng cách phù hợp. Phần tử quartz nhạy cảm với va đập cơ học, và sự giãn nở nhiệt ở đầu ống yêu cầu phải điều chỉnh dung sai lắp đặt chính xác. Kiểm tra điện áp và điểm đấu nối theo đúng thông số module, đồng thời xác nhận bộ điều khiển có thể điều khiển tải mà không gây vượt quá PID. Thực hiện chính xác các chi tiết này sẽ đảm bảo bộ gia nhiệt hoạt động ổn định trong sản xuất hàng ngày.