سیمی-تھرمل عملوں میں توانائی کے ضیاع کو روکنا
ایمانداری سے کہیں تو، پرانے طرز کے کلین روم اوون دراصل بہت بڑے ہیٹر ہیں؛ ان کا مقصد صرف چند ویفروں کو مناسب درجہ حرارت پر لانا ہے، لیکن اس کے لئے پورے کمرے کو گرم کرنا پڑتا ہے۔ اس طرح ہوا، دیواریں، چھت – یعنی ہر چیز گرم ہو جاتی ہے، سوائے اس حصے کے جو واقعی اہم ہے۔ یہ توانائی کا بہت بڑا ضیاع ہے۔
اسی لئے ہم انفراریڈ حرارت کی جانب بڑھ رہے ہیں۔ اس طریقے میں پورے کمرے کو گرم کرنے کے بجائے، براہ راست ویفر یا سبسٹریٹ کو گرم کیا جاتا ہے۔ یہ زیادہ موثر اور بہتر طریقہ ہے۔
ہدفی حرارت کی قوت
انفراریڈ حرارت دراصل تابکاری کا نتیجہ ہے۔ اسے ایسے سمجھیں کہ سرد دنوں میں سورج کی کرنیں آپ کی جلد پر پڑتی ہیں؛ ہوا تو سرد ہی رہتی ہے، لیکن آپ فوراً گرمی محسوس کرتے ہیں۔ چونکہ ہمیں ہوا کے گرم ہونے کا انتظار نہیں کرنا پڑتا، اس لئے وقت کی بچت ہوتی ہے، اور ہر چیز تیزی سے گرم ہو جاتی ہے۔
جس مواد کے ساتھ کام کیا جا رہا ہے، اس کے حساب سے ہم عموماً شارٹ-ویو یا میڈیم-ویو ایمیٹرز استعمال کرتے ہیں۔ اگر سبسٹریٹ موٹا ہے، تو شارٹ-ویو بہترین اختیار ہے، کیونکہ یہ مواد کے اندر گہرائی تک جاتا ہے۔ جبکہ پتلی فلموں کے لئے میڈیم-ویو بہترین ہے، کیونکہ یہ سطح پر ہی گرمی پیدا کرتا ہے۔
دونوں صورتوں میں، ہر ویفر کے لئے کم توانائی درکار ہوتی ہے۔ اس طرح کاربن فٹ پرنٹ کم ہو جاتا ہے، اور بجلی کے بل بھی کم آتے ہیں۔
کلین روم کے مسائل سے نمٹنا
ہم سب جانتے ہیں کہ کلین روم میں ایک چھوٹا سا گرد کا ذرہ بھی پورے مال کو خراب کر سکتا ہے۔ اس لئے ہم لیمپوں کو کوارٹز سے ڈھک دیتے ہیں۔ اس طرح کوئی گرد نہیں رہتی، اور کوئی مسئلہ بھی نہیں پیش آتا۔ ہم ان لیمپوں کے ساتھ اعلی درجہ کے PID کنٹرولر بھی استعمال کرتے ہیں، تاکہ کسی غلطی کی وجہ سے کوئی نقصان نہ ہو۔
لیکن ایک بات کا خیال رکھنا ضروری ہے: توانائی کی کثافت پر نظر رکھیں۔ انفراریڈ ایمیٹرز سے بہت زیادہ حرارت پیدا ہوتی ہے۔ اگر کولنگ سسٹم مناسب نہ ہو، تو یہ حرارت سبسٹریٹ سے منعکس ہوکر اوون کے ڈھانچے کو نقصان پہنچا سکتی ہے، یا سینسرز کو بھی خراب کر سکتی ہے۔ یہ ایک طاقتور آلہ ہے، اس لئے اس کی حرارت کا خیال رکھنا ضروری ہے۔
حقیقی فوائد
سب سے بہترین بات یہ ہے کہ آپ کو زیادہ جگہ کی ضرورت نہیں پڑتی۔ آپ اس بڑے اوون کے بجائے ایک چھوٹا سا انفراریڈ ٹنل استعمال کر سکتے ہیں۔ یہ ایک فائدے مند طریقہ ہے؛ آپ جگہ بچا سکتے ہیں، اور آپ کا HVAC سسٹم بھی زیادہ کام نہیں کرے گا۔ یہی وہ آسان طریقہ ہے جس سے آپ بغیر کسی نقصان کے “گرین فیکٹری” چلا سکتے ہیں۔