لیتھوگرافی کے عمل میں، 90°C پر نرم حرارت دینے سے، اگر درجہ حرارت میں صرف 0.3°C کا فرق بھی پیدا ہو جائے، تو اس سے پورے پروڈکشن پروسیس میں لائنوں کی چوڑائی میں تغیرات پیدا ہو سکتے ہیں۔ درجہ حرارت کی یکسانیت کوئی اختیاری بات نہیں، بلکہ یہ ایک لازمی شرط ہے۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
ہم نے اس سیرامک لیمپ ہولڈر کو فوٹو ریزسٹ پروسیسنگ کے لئے بنایا ہے، جہاں حرارتی کنٹرول بہت اہم ہے، اور کلین روم میں ذرات کی تعداد کو بھی کنٹرول کرنا ضروری ہے۔ شارٹ-ویو ہیلوجن لیمپ، اعلیٰ خالصیت والے سیرامک مواد میں نصب ہوتے ہیں، جس سے مستحکم حرارت پیدا ہوتی ہے، اور اس طرح ویفر کی سطح پر درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر ہی رہتا ہے۔
سیرامک مواد، گیسوں کے خارج ہونے کو روکتا ہے، اور لیمپ ہولڈر کی ساخت ایسی ہے کہ سایہ دار علاقوں اور حرارتی تفاوتوں کو کم کیا جاسکے۔ اس طرح، 24/7 کے کام کے دوران بھی درجہ حرارت مستحکم رہتا ہے۔
فیکٹری میں اس کی کارکردگی کیوں اچھی ہے؟
نرم اور سخت حرارتی عملوں میں، حرارتی کنٹرول کو فوٹو ریزسٹ کی حساسیت اور آلات کی کارکردگی کے مطابق ہونا ضروری ہے۔ یہ لیمپ ہولڈر، حرارتی پروفائل کو مستحکم رکھتا ہے، جس سے ہر بار پروڈکشن کا معیار برقرار رہتا ہے۔
یہ کلاس 1–100 کلین روموں میں بھی اچھی طرح کام کرتا ہے، کیوں کہ اس کی سطحیں اور جوڑے، ذرات پیدا نہیں کرتے۔ اس کے نتیجے میں، خراب ویفرز کی تعداد کم ہوتی ہے، دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہوتی ہے، اور کام کے وقت کو بہتر طریقے سے منصوبہ بند کیا جا سکتا ہے۔ پروسیس چیمبر سے موثر طریقے سے جڑنے کی وجہ سے توانائی کی کھپت بھی کم رہتی ہے، اور سیرامک مواد کی حرارتی انرشیا، ریسیپی تبدیل کرنے کے وقت بھی درجہ حرارت کو مستحکم رکھتی ہے۔
عملی تفصیلات:
اسے انسٹال کرتے وقت، ہیٹر بلاک کے ساتھ درست طریقے سے الائن کرنا ضروری ہے، اور یہ بھی یقینی بنانا ضروری ہے کہ لیمپ مناسب طریقے سے نصب ہو۔ ورنہ، گرم نقاط پیدا ہو سکتے ہیں۔ سیرامک مواد مضبوط ہے، لیکن نازک بھی ہے؛ اسے کلین روم کے مطابق آلات کے ذریعے ہی ہینڈل کرنا چاہیے، اور میکانی صدموں سے بچانا ضروری ہے۔
ہیٹر کے ماڈل کے مطابق وولٹیج اور کنیکٹر کی سازگاری کی جانچ ضرور کرنی چاہیے، اور یہ بھی یقینی بنانا ضروری ہے کہ حرارتی کنٹرول، فوٹو ریزسٹ کی خصوصیات کے مطابق ہو۔ انسٹالیشن کے بعد، اور ہر 250 گھنٹوں بعد، ذرات کی تعداد کی جانچ کرنی چاہیے، تاکہ یقین کیا جا سکے کہ لیمپ ہولڈر کسی قسم کے آلودگی کا سبب نہیں بن رہا ہے۔