Припиніть використовувати звичайні лампи для нагріву вакуумної камери. Кожен, хто працює на заводах з виробництва напівпровідників, знає про цю проблему: потрібно нагріти пластину, але не можна перетворювати вакуумну камеру на печь.
Звичайні інфрачервоні лампи, по суті, є світловими приладами, які випромінюють тепло в усі боки. У вакуумі ця енергія не має куди йти – вона просто відбивається від внутрішніх стінок обладнання. Результатом є перегрів корпусу обладнання, а оператори змушені уникати опіків.
Це справжня проблема. Але існує кращий спосіб її вирішення.
Необхідно спрямовувати тепло, а не розсіювати його.
Ми використовуємо технологію направленого випромінювання інфрачервоного світла для цього. Замість того, щоб дозволяти теплу розсіюватися всюди, ми використовуємо спеціальні відбивачі та емітери, які спрямовують енергію саме туди, де вона потрібна – на пластину.
Це дає значну різницю. Ви отримуєте необхідну щільність тепла для пластини, а саме обладнання залишається прохолодним. Можна навіть торкатися обладнання без страху отримати опіки.
Проблеми, пов’язані з вакуумом, справжні.
Фізика змінюється, коли повітря видаляється з камери. Втрачається конвективне охолодження, що означає, що лампи не можуть „дихати“. Вони повністю залежать від випромінювання та відбивачів для виведення тепла.
Якщо використовувати лампи високої потужності без належного відводу тепла чи відбивача, такі лампи швидко згорять. Ми використовуємо кварцові корпуси для поглинання тепла, але потрібно стежити за живленням обладнання. У цих лампах є проблема – під час запуску потужність може різко зрости.
Швидші цикли, менший стрес.
Зменшення „зайвого тепла“ – це не лише питання безпеки, а й швидкості. Коли стінки камери не поглинають тепло, вони перестають функціонувати як гігантські радіатори. Це означає, що коли настає час знизити температуру, не потрібно чекати, поки велика кількість металу охолоне. Час виконання циклів скорочується, а продуктивність зростає.
Якщо хочете отримати кращі результати, використовуйте проводи високої міцності та уважно контролюйте правильність розташування відбивачів. Якщо відхилення відбивача становить навіть два градуси, тепло буде спрямовуватися не на пластину, а на стінки камери. Тоді все буде так само, як і спочатку.