Як досягти правильної температури на пластині з кремнію
Коли ви працюєте в середовищі напівпровідників, „чистота“ – це не просто бажання; це ключовий фактор для ефективної роботи обладнання. Саме тому ми використовуємо лампи з Ultra High Purity-технологією.
Коли ви нагріваєте пластину з кремнію, необхідно, щоб кожен фотон потрапляв на її поверхню. Марнування енергії на нагрівання стінок камери означає марнування грошей та енергії.
Чому ми обираємо золото
Деякі люди використовують стандартні алюмінієві відбивачі, але вони поглинають занадто багато енергії. Ми ж використовуємо відбивачі, покриті золотом.
Це не про те, щоб зробити обладнання більш привабливим зовнішньо. Йдеться про фізику інфрачервоного світла. Золото чудово відбиває енергію саме туди, де вона потрібна – на пластину. Енергія не розсіюється по корпусу обладнання, а залишається приціленою на ціль. Таким чином, ви отримуєте більше тепла на пластині, не підвищуючи при цьому витрати енергії.
Проблемні моменти
Щоб досягти необхідної щільності тепла, ці лампи мусать працювати при високих температурах. Але це має свої недоліки. Велика кількість енергії спричиняє сильне локальне нагрівання. Якщо система охолодження не може впоратися з підвищенням температури, це може призвести до пошкодження ламп чи їх контактів. Це справжня проблема.
Ми приділяємо багато уваги параметрам кварцу та золотого покриття. Чим точніша фокусування, тим стрімкіший температурний градієнт. Потрібно дуже уважно ставитися до налаштувань контролерів PID – одна помилка може призвести до появи „гарячих точок“ на пластині.
Практичне застосування
Коли ви починаєте підключати ці лампи до системи UHP, правильна налаштування є ключовою. Якщо ви помилитесь на кілька міліметрів, ефективність нагріву може знизитися на 10–15%. Ми розробили ці лампи так, щоб їх можна було легко встановити, без необхідності руйнування всієї системи нагріву.
Ще одна порада: тримайте поверхню золота абсолютно чистою. Навіть невелика кількість пилу чи оксидування може значно знизити ефективність нагріву.