Akıllı Fabrikalarda Termal Verileri Doğru Bir Şekilde Elde Etme
Eğer akıllı bir fabrika kuruyorsanız, yapmanız gereken ilk şey temas sensörlerini kullanmayı bırakmaktır. Cidden.
Yüksek verimlilikli wafer işleme cihazlarında gecikmelere yer yoktur. Ayrıca, fiziksel probların kullanılması da kirlenmeye yol açar. Bu yüzden kızılötesi sistemlerden yararlanıyoruz. Bu sistemler sayesinde wafer’e dokunmadan gerçek zamanlı termal veriler elde edilebiliyor ve bu veriler doğrudan PLC veya SCADA sistemlerine aktarılıyor. Oldukça basit bir süreçtir.
Neden Kızılötesi Sistemleri Kullanıyoruz?
Wafer işlemlerinde homojenlik çok önemlidir. Eğer 300 mm’lik bir yüzeyde birkaç derecelik farklılık varsa, bu durumda üretim bozulmuş demektir.
Kızılötesi sensörler, yüzeyden gelen radyasyonu algılayıp anında sıcaklık değerlerine dönüştürür. En iyi yanı ise, ısıtılacak bir “termal kütle”nin olmamasıdır. Termokuplların tepki vermesi uzun sürerken, kızılötesi sensörler size anında yüzey sıcaklığını verir.
Çok hızlıdır. Ve bu da kontrol sisteminizin sıcaklık artışlarını felaket oluşmadan önce tespit etmesini sağlar.
Verilerin Gerçekten Faydalı Olması İçin
Bir sensör harika olabilir, ancak bu sadece başlangıçtır. Gerçekten akıllı bir yapı için bu verilerin hareket halinde olması gerekiyor.
Bu sistemleri, Endüstri 4.0 çalışma şekline uygun dijital sinyaller üretecek şekilde ayarlıyoruz. Böylece her wafer’in termal profilinin sürekli olarak kaydedilmesi sağlanır. Bu, bakım açısından büyük bir avantajdır; ısıtıcı elemanların arızalanmasını önceden fark edip onları değiştirebilirsiniz.
Zorlu Yönler (Çünkü Hiçbir Şey Mükemmel Değildir)
Kızılötesi sistemler de mükemmel bir çözüm değildir. Emissivity değerlerine dikkat etmek gerekiyor. Eğer işlem sırasında yüzeyin yansıtma özelliği değişirse, ölçümler de yanlış olur. Kullandığınız malzemeye uygun şekilde sensörü kalibre etmeniz gerekir; aksi takdirde sahte veriler elde edersiniz.
Ayrıca görüş açısı sorunu da vardır. Eğer işlem sonucunda lens üzerinde artıklar birikirse, sinyaller engellenir ve ölçümler yanlış olur. Çözümü basittir: Temizleme gazlarının akışını düzenleyin ve lensi temiz tutun. Böylece her şey yolunda olur.