
เหตุใดเราจึงใช้ตัวสะท้อนแสงที่เคลือบด้วยทองคำในเครื่องทำความร้อนสำหรับเวเฟอร์
เมื่อคุณใช้เครื่องทำความร้อนสำหรับเวเฟอร์ในห้องปลอดฝุ่น สิ่งเดียวที่สำคัญก็คือการนำความร้อนไปสู่เวเฟอร์ให้ได้มากที่สุด คุณคงไม่อยากเสียพลังงานหรืองบประมาณไปกับการทำให้ตัวเครื่องร้อนขึ้น
นั่นคือจุดที่ทองคำมีบทบาทสำคัญ
ข้อดีของการเคลือบด้วยทองคำ
หากคุณใช้ตัวสะท้อนแสงที่ทำจากอลูมิเนียมธรรมดา คุณจะสูญเสียพลังงานไปมากมาย เพราะพลังงานเหล่านั้นจะถูกดูดซับหรือกระจายไปในอากาศ ซึ่งถือเป็นการสิ้นเปลืองพลังงาน
แต่เมื่อเราเพิ่มชั้นทองคำที่มีความบริสุทธิ์สูงเข้าไป เราก็สามารถเพิ่มประสิทธิภาพในการสะท้อนแสงได้มากกว่า 98% ในย่านอินฟราเรด คิดง่ายๆ ก็เหมือนกับกระจกสำหรับสะท้อนความร้อน แทนที่เครื่องทำความร้อนจะทำให้ห้องร้อนขึ้น ทองคำจะสะท้อนแสงกลับไปยังเวเฟอร์โดยตรง
ผลลัพธ์ก็คือ คุณจะได้ความร้อนที่สม่ำเสมอมากขึ้น และสามารถถึงอุณหภูมิที่ต้องการได้เร็วขึ้น นั่นคือความคุ้มค่าและง่ายมาก
การจัดการกับความร้อน
ปัญหาก็คือ เพื่อให้เวเฟอร์มีอุณหภูมิที่เหมาะสม เครื่องทำความร้อนเหล่านี้จึงต้องใช้พลังงานมหาศาลในพื้นที่ขนาดเล็ก
แม้ว่าวิธีนี้จะทำให้เวเฟอร์มีอุณหภูมิที่เหมาะสม แต่ก็สร้างแรงกดดันมากให้กับโครงสร้างของเครื่อง หากไม่ระมัดระวัง ความร้อนนั้นก็อาจแพร่ไปยังส่วนอื่นๆ ของห้องปลอดฝุ่น ซึ่งจะทำให้ค่าพารามิเตอร์ต่างๆ เปลี่ยนไป
ดังนั้น คุณควรมั่นใจว่าโครงสร้างของเครื่องมีระบบระบายความร้อนที่ดี หรือมีฮีทซิง크ที่มีประสิทธิภาพ คุณต้องการให้ความร้อนอยู่ที่เวเฟอร์เท่านั้น ไม่ใช่ที่อื่น
วิธีการใช้งานและการรักษาให้อยู่ในสภาพดี
เราออกแบบตัวสะท้อนแสงเหล่านี้ให้สามารถใช้แทนตัวเดิมได้เลย คุณจึงไม่จำเป็นต้องปรับเปลี่ยนโครงสร้างของเครื่องทั้งหมดเพื่อใช้มัน
ข้อดีอีกอย่างของทองคำก็คือ มันไม่มีปฏิกิริยาทางเคมี มันจึงไม่เป็นสนิม ไม่เกิดการออกซิเดชัน และจะไม่หลุดลอกหลังจากการใช้งานหลายร้อยครั้ง คุณจึงไม่ต้องกังวลเรื่องประสิทธิภาพที่ลดลงเมื่อเวลาผ่านไป ซึ่งเป็นปัญหาที่มักเกิดขึ้นกับเหล็กหรืออลูมิเนียมที่ผ่านการขัดเงาแล้ว
เพียงแค่ตรวจสอบแหล่งจ่ายไฟให้ดี หากแรงดันไฟฟ้าไม่สม่ำเสมอ ก็จะส่งผลให้ความร้อนที่ได้ไม่สม่ำเสมอ ซึ่งจะทำให้เวเฟอร์มีอุณหภูมิที่ไม่สม่ำเสมอ ดังนั้น คุณควรควบคุมค่า PID ให้ดี แล้วคุณก็จะได้ผลลัพธ์ที่ดีอย่างแน่นอน