Как высушить пластины MEMS без лишних проблем
При производстве датчиков MEMS последнее, чего хочется, — это чтобы капля влаги или след растворителя испортили пластину. Но нельзя просто нагревать её с помощью тепла — это приведет к повреждению материала и появлению остатков вещества на поверхности пластины.
Поэтому мы используем нагреватели на коротких волнах инфракрасного излучения. Вместо того чтобы тратить время на нагрев воздуха вокруг пластины, инфракрасное излучение передает энергию напрямую в сам материал. Это эффективный и безопасный способ. Не требуется использования химических катализаторов или сложных процедур.
Как это работает
Можно считать это целенаправленным воздействием. Нагреватель излучает фотоны, которые мгновенно поглощаются молекулами воды, что приводит к её испарению.
Самое лучшее заключается в том, что при использовании инфракрасных нагревателей нет необходимости в циркуляции воздуха. Если вы когда-либо работали в чистой комнате, вы знаете, что поток воздуха является источником пыли и частиц. Инфракрасное излучение позволяет избежать этой проблемы. Не требуется использование опасных веществ или свинца для нагрева. Все происходит автоматически.
Экономия энергии
Это действительно прекрасно. Забудьте о тех огромных тепловых камерах, которые требуют часа на предварительный нагрев. С помощью инфракрасных ламп можно достичь нужной температуры за секунды. Это значительно снижает расходы на электроэнергию. К тому же не нужно беспокоиться о вредных выбросах, связанных с использованием химических средств для сушки. Это гораздо более экологичный способ работы.
Недостатки
Но это не волшебство. Есть свои недостатки. Инфракрасное излучение действует только в линии видимости. Если у подставки для пластин необычная форма или есть глубокие углубления, возникают «холодные зоны», в которые тепло не может доходить. Необходимо тщательно планировать расположение ламп. Если попытаться решить проблему холодных зон, увеличивая мощность нагревателей, можно повредить края пластин. Требуется тщательное планирование для правильного расположения ламп.
Мы разработали такие системы так, чтобы они могли заменить старые, энергоемкие устройства. Только одно условие: убедитесь, что ваш источник питания сможет справиться с первоначальным спадом напряжения при включении ламп. После этого все будет работать без проблем.