На линии литографии OLED нельзя допускать дрейфа. Полградуса Цельсия во время отверждения фотополотна достаточно, чтобы сместить критические размеры и испортить целый уровень маски. Вам нужна сушильная лампа, которая рассматривает тепловой бюджет как реальный параметр процесса, а не как второстепенный аспект.
Что важно в работе устройства Мы разработали сушильную лампу OLED на основе коротковолновых галогеновых излучателей в кварцевых оболочках. Она излучает быстрое NIR, которое проникает в фотополотно, не сжигая стек. Однородность на уровне подложки остается в пределах ±0.1°C по всей зоне отверждения, так что профили мягкого и жесткого отверждения действительно соответствуют рецепту. Лампа совместима с чистыми помещениями до класса 1–100 благодаря сборке с контролем частиц и материалам, которые не выделяют газ. Это обеспечивает, что вклад частиц от самой лампы остается ниже спецификации процесса. Система повторяет заданные параметры изо дня в день, так что ваши бюджеты на травление и разработку не дрейфуют. Почему это имеет значение для OLED Стеки OLED тонкие и термически чувствительные. Перегрев во время отверждения фотополотна приводит к остаткам, проблемам с адгезией и снижению выхода. Эта лампа быстро нагревается и находится под строгим контролем, что сокращает время теплового прогрева. Это приводит к более строгому контролю критических размеров и меньшему количеству стохастических дефектов. Вы также получаете снижение потребления энергии, потому что лампа быстро достигает заданной точки и удерживает ее с минимальными колебаниями. И она спроектирована для работы 24/7, что означает меньше незапланированных остановок и меньше переработок при отклонениях в отверждении. На что вам нужно обратить внимание Лампа требует выделенной силовой шины и маршрутизации с учетом ЭМИ, чтобы не вмешиваться в сенсоры литографического инструмента. Запланируйте короткий пусковой запуск, чтобы сопоставить горячие точки с вашим конкретным чеком и стеком подложки, затем зафиксируйте профиль в контроллере. Как только она будет выровнена, система ведет себя как воспроизводимый тепловой модуль, а не просто источник тепла. В этом и заключается весь смысл.