
Por que o IR é melhor que o ar quente para a secagem de semicondutores
Se você ainda está usando circulação de ar quente em suas linhas de enxágue, na verdade está lutando contra o tempo.
Pense em como funciona a convecção: é preciso aquecer todo o ar e as paredes da câmara antes que o wafer perceba alguma mudança de temperatura. É um processo lento. Há um atraso irritante sempre que se aumenta ou diminui a temperatura, e em uma fábrica de grande volume, esses segundos somam-se e resultam em muito tempo perdido.
Elimine o intermediário.
É aí que entra a tecnologia de radiação infravermelha (IR). Em vez de aquecer o ar, as lâmpadas IR emitem radiação eletromagnética diretamente sobre o substrato. Não há necessidade de esperar que o ar se aqueça. Nenhum atraso.
Usamos lâmpadas à prova d’água para garantir que o vapor e a umidade provenientes do enxágue não danifiquem os componentes eletrônicos. Como a transferência de energia é direta, o ciclo de aquecimento passa de minutos para segundos. A produção aumenta, pois os wafers não precisam ficar parados esperando para secar.
Levar o calor exatamente onde é necessário.
Usamos selos e revestimentos especiais para impedir que a água entre durante a transição do enxágue para a secagem. Com um conjunto de lâmpadas IR de alta densidade, é possível direcionar o calor exatamente para onde o líquido está presente. Não há mais aqueles “pontos frios” que costumam existir nos túneis de ar forçado.
Mas é preciso ter cuidado.
A radiação IR é intensa. Se a velocidade do transportador estiver incorreta ou as lâmpadas estiverem muito próximas, há risco de superaquecimento de uma área pequena, o que pode causar deformações nos wafers finos. É preciso ajustar a distância e a potência das lâmpadas com cuidado. Uma vez configurado corretamente, o processo fica fácil.
Economizando espaço no chão.
O melhor de tudo? É possível eliminar os grandes sopradores e os dutos complicados. Substituir um forno de convecção por um sistema de IR reduz o tamanho dos equipamentos. Basta conectar as lâmpadas, definir os temporizadores e instalá-las na linha de produção existente. Os engenheiros também vão adorar – não há mais necessidade de manter os ventiladores ou trocar filtros constantemente. Tudo fica mais eficiente.