Pare de usar a câmara de vácuo como forno para cozinhar os wafers. Quem já trabalhou em fábricas de semicondutores sabe bem o problema: é preciso aquecer o wafer, mas não se quer transformar a câmara de vácuo em um forno. As lâmpadas infravermelhas comuns são, basicamente, lâmpadas normais, mas mais potentes – elas irradiam calor em todas as direções. No vácuo, essa energia não tem para onde ir; ela bate diretamente nas paredes internas do equipamento. Em pouco tempo, o chassi do equipamento fica superaquecido, e os operadores precisam ter cuidado para não se queimar. É um caos. Mas existe uma maneira melhor de lidar com isso. Concentre o calor, em vez de espalhá-lo por toda parte. Usamos tecnologia infravermelha direcional para resolver esse problema. Em vez de deixar o calor se espalhar, usamos refletores e emissores especializados para direcionar a energia exatamente para onde é necessária: no wafer. A diferença é enorme. Você obtém toda a densidade de calor necessária para o wafer, enquanto o hardware ao redor permanece frio. Você pode até tocar na máquina sem medo de se queimar. O problema do vácuo é real. A física muda quando o ar é removido da sala. Perde-se o resfriamento convetivo, o que significa que as lâmpadas não conseguem “respirar”. Elas dependem inteiramente da radiação e dos suportes para dissipar o calor. Se você usar uma lâmpada halógena de alta potência sem um dissipador de calor adequado ou um refletor eficaz, ela vai queimar rapidamente. Usamos invólucros de quartzo para absorver o calor, mas é preciso ficar atento à fonte de alimentação. Esses tubos tendem a causar picos de corrente durante o arranque. Ciclos mais rápidos, menos estresse. Reduzir o “calor desperdiçado” não é apenas uma questão de segurança. É também uma questão de velocidade. Quando as paredes da câmara não absorvem calor, elas deixam de funcionar como radiadores. Isso significa que, quando chega a hora de reduzir a temperatura, não é preciso esperar que um grande pedaço de metal esfrie. Os tempos de ciclo diminuem, e a produtividade aumenta. Uma dica importante: use cabos resistentes às altas temperaturas e seja muito preciso na alinhagem. Se o refletor estiver desalinhado mesmo que dois graus, o ponto quente será desviado do wafer e voltará para a parede. E então você estará de volta ao ponto de partida.