Pare de desperdiçar seu calor
Quando se aquece um wafer no processo de fabricação de semicondutores, na verdade está se enfrentando com as leis da física. A maior parte da energia emitida pela lâmpada acaba se dispersando em todas as direções possíveis. Uma grande parte dessa energia acaba sendo usada para aquecer o invólucro do equipamento, em vez do silício.
É um desperdício. E é frustrante.
Por que usamos ouro?
Usamos revestimento de ouro nos refletores por um motivo simples: o ouro é o melhor material para refletir luz infravermelha. Claro, o alumínio é mais barato, mas ele se oxida com o tempo. Perde sua eficiência. O ouro não faz isso. Ele permanece eficaz, refletindo quase toda a radiação de ondas longas de volta para onde ela deve ir – no wafer.
Mas não se trata apenas da conta de luz. Trata-se também do controle da temperatura. Ao ajustar corretamente a curvatura do refletor de ouro, podemos concentrar a energia necessária para atingir as temperaturas desejadas mais rapidamente. Isso resulta em um perfil térmico uniforme ao longo do silício, que é onde realmente acontece a “magia”.
O custo-benefício
O problema é que, ao aumentar a reflexividade, surgem opções. Podemos reduzir a potência consumida para economizar energia, mantendo a mesma temperatura. Ou podemos manter a potência alta e reduzir significativamente o tempo de aquecimento.
Mas tenha cuidado com o resfriamento. Quando se coloca tanta energia em um espaço pequeno, as coisas esquentam rapidamente. Se o sistema de resfriamento não for suficiente, os componentes eletrônicos ao redor podem ser danificados, ou os sensores podem parar de funcionar corretamente.
Como usar
Criamos esses dispositivos para serem fáceis de usar. Eles são praticamente substitutos diretos para os sistemas de aquecimento atuais. Basta conectá-los à fonte de alimentação existente, e pronto.
Você notará a diferença imediatamente: o wafer atinge a temperatura desejada em muito menos tempo. Só uma observação: verifique os termopares. Como a transferência de calor é muito mais intensa, os circuitos PID podem não funcionar corretamente se não estiverem ajustados para essa velocidade.