Het goed instellen van de hitteflux tijdens het bewerken van wafers
In een fabricagefaciliteit is het verspillen van energie geen probleem dat alleen te maken heeft met de kosten – het is een fout. Punt uit. Wanneer je de lamp aanzet, wil je dat iedere watt aan energie op het oppervlak van de wafer terechtkomt. Je wilt niet dat de energie rondvliegt in de ruimte of dat het plafond wordt opgewarmd.
Om dit te bereiken, gebruiken we een specifieke combinatie: schermen gemaakt van kwartsglas van hoge zuiverheid en reflectoren die bedekt zijn met goud.
Waarom goud?
De meeste reflectoren verspreiden de energie alleen maar. Dat is inefficiënt. Goud daarentegen werkt uitstekend bij infraroodstraling. In plaats van dat de warmte in de lamphuizen terechtkomt, kaatst het gouden laagje de infraroodgolven recht terug naar het doeloppervlak. Hierdoor wordt een brede straal energie omgezet in een concentreren straal. Het mooiste is dat je veel meer hitte kunt genereren, zonder dat je de spanning moet verhogen of je systeem te veel onder druk zet.
De rol van kwarts
Voor de schermen gebruiken we kwartsglas. Dit materiaal kan veel hitte weerstaan. De meeste materialen zouden verbuigen of zelfs breken zodra de lamp de maximale temperatuur bereikt. Kwarts daarentegen blijft stabiel en beschermt de gloeidraad, terwijl het kortegolfige infraroodlicht doorlaat, zonder de energie op te nemen.
Het nadeel
Deze opstelling is zeer efficiënt, maar vereist wel veel onderhoud. Goud is gevoelig voor vuil en organische dampen. Als er vuil op het gouden laagje komt te zitten, neemt de reflectie af en begint de temperatuur van de wafer te stijgen. Dit is een groot probleem. Om alles optimaal te houden, moet je je cleaning-schema strikt naleven. Er zijn geen shortcuts mogelijk.
In de praktijk
Wanneer je deze componenten in je systeem installeert, controlereer dan goed of de koelventilatoren goed werken. Omdat we zoveel energie naar de wafer sturen, blijft de lamphuizen relatief koel, maar het focale punt is zeer heet. Als de schermen niet perfect zijn gealigneerd, ontstaan er hete plekken op de wafer. Zorg ervoor dat alles goed is gealigneerd, dan zal de energieverbruik per cyclus snel dalen. Het werkt gewoon.