MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

MEMS 웨이퍼를 문제 없이 건조시키는 방법 MEMS 센서를 제작할 때 가장 싫은 것은 불필요한 수분이나 용매로 인해 웨이퍼가 손상되는 것입니다. 하지만 단순히 열을 가하는 것도 좋지 않습니다. 그렇게 하면 재료에 스트레스가 가해져서 여러 가지 문제가 생길 수 있습니...