Smettete di utilizzare lampade per riscaldare la camera a vuoto
Chiunque abbia lavorato in una fabbrica di semiconduttori conosce bene questo problema: è necessario riscaldare il wafer, ma non si vuole trasformare la camera a vuoto in un forno. Le lampade a infrarossi tradizionali funzionano come semplici lampadine, emettendo calore in tutte le direzioni. Nel vuoto, quell’energia non ha dove andare; finisce per colpire le pareti interne del dispositivo. In breve tempo, il dispositivo si surriscalda e gli operatori rischiano di subire ustioni. È davvero un problema. Ma esiste un modo migliore per affrontarlo.
Direzionate il calore, non lasciatelo disperdersi ovunque
Utilizziamo tecnologia a infrarossi direzionali per risolvere questo problema. Invece di permettere che il calore si disperda ovunque, utilizziamo riflettori e emitter specializzati per indirizzare l’energia esattamente dove è necessaria: sul wafer. La differenza è enorme: si ottiene tutta la densità termica necessaria, mentre i componenti circostanti rimangono freschi. Si può persino toccare il dispositivo senza correre il rischio di subire ustioni.
Il problema del vuoto è reale
La fisica cambia quando si elimina l’aria dalla stanza. Si perde quindi il sistema di raffreddamento convettivo; le lampade non possono più “respirare”. Devono affidarsi interamente alla radiazione e ai riflettori per dissipare il calore. Se si utilizza una lampada ad allogenio a alta potenza senza un dissipatore adeguato o un riflettore efficace, la lampada si surriscalderà rapidamente. Noi utilizziamo involucri di quarzo per assorbire il calore, ma bisogna prestare attenzione all’alimentazione elettrica: queste lampade tendono ad aumentare la corrente durante il avvio.
Cicli più veloci, meno stress
Ridurre il “calore inutile” non riguarda solo la sicurezza, ma anche la velocità. Quando le pareti della camera non assorbono il calore, smettono di funzionare come grandi radiatori. Questo significa che, quando è il momento di ridurre la temperatura, non è necessario aspettare che il metallo si raffreddi. I tempi di ciclo diminuiscono e la produttività aumenta.
Un consiglio per l’installazione: utilizzate cavi ad alta resistenza termica e assicuratevi che i riflettori siano ben allineati. Se il riflettore è fuori allineamento anche di soli due gradi, il punto caldo si sposta dal wafer alle pareti. E allora si torna al punto di partenza.