Mengurangi Emission Karbon di Proses Fabrikasi: Mengapa Kita Beralih ke Lampu Infra Merah
Sejujurnya, proses fabrikasi semikonduktor merupakan tantangan besar, terutama dalam hal pengelolaan panas. Diperlukan ketepatan yang sangat tinggi, tetapi mencapainya sering kali berarti pemborosan energi yang besar. Selama ini, kita menerima saja penggunaan oven konvensional dan pemanas resistif sebagai solusi. Namun, alat-alat tersebut tidak efisien, lambat, dan memboroskan energi.
Itulah sebabnya kita beralih ke lampu infra merah yang digunakan di ruang bersih. Tujuannya bukan hanya untuk menghemat waktu proses, tetapi juga untuk menghentikan kebocoran energi yang menyebabkan peningkatan emisi karbon di pabrik.
Cara kerjanya
Bayangkan sistem udara paksa: sistem ini harus memanaskan seluruh udara di dalam ruangan agar komponen yang diproses menjadi hangat. Ini merupakan cara yang tidak efisien.
Lampu infra merah berbeda. Lampu ini menggunakan gelombang elektromagnetik untuk memanaskan wafer atau substrat secara langsung. Anda tidak memanaskan udara, melainkan bahan itu sendiri. Dengan demikian, suhu dapat dinaikkan lebih cepat, dan energi tidak diboroskan hanya untuk mempertahankan suhu ruangan saat mesin tidak digunakan.
Detail perangkat keras
Tergantung pada bahan yang diproses, kita biasanya menggunakan emitter gelombang pendek atau sedang. Tujuannya adalah mendapatkan intensitas daya yang tinggi dalam ruang yang kecil, sehingga ukuran meja pemanas pun bisa dikurangi.
Namun, perlu berhati-hati terhadap suplai daya. Lampu ini membutuhkan arus listrik yang besar. Jika setiap lampu membutuhkan daya 2 kW atau lebih, pastikan kabel dan saklar listrik mampu menangani beban maksimal tersebut. Tidak ada yang ingin mengalami gangguan listrik di tengah proses produksi. Selain itu, jangan gunakan lampu ini secara terus-menerus dengan kapasitas penuh. Gunakan kontroler presisi untuk mengatur daya, agar filamen lampu tidak cepat rusak.
Menciptakan “Pabrik Hijau” yang Sesungguhnya
Dengan menggunakan lampu infra merah, sistem HVAC di pabrik akan lebih efisien. Karena panas tidak lagi tersebar di seluruh ruangan, chiller pun tidak perlu bekerja keras untuk menjaga suhu tetap rendah. Ini merupakan solusi yang baik bagi pabrik.
Lampu infra merah ini dapat digunakan menggantikan alat pemanas lama yang tidak efisien. Anda akan melihat penurunan konsumsi energi per wafer yang diproses.
Satu-satunya masalah adalah penempatan lampu. Jika substrat tidak berada tepat di bawah lampu, akan terjadi daerah yang terlalu panas. Masalah ini dapat diatasi dengan menggunakan reflektor yang tepat, sehingga suhu di seluruh permukaan meja pemanas menjadi merata.