वेफर को सही तापमान पर गर्म करना
जब आप सेमीकंडक्टर उत्पादन संबंधी कार्य कर रहे होते हैं, तो “स्वच्छता” केवल एक पसंद नहीं है… बल्कि यही महत्वपूर्ण है। इसीलिए हम UHP (अल्ट्रा हाई प्योरिटी) हीटर लैंपों का उपयोग करते हैं।
जब आप सिलिकॉन वेफर को गर्म कर रहे होते हैं, तो आप चाहते हैं कि प्रत्येक फोटॉन वेफर की सतह पर ही पड़े। चैंबर की दीवारों को गर्म करके ऊर्जा बर्बाद करना, वास्तव में पैसे एवं ऊर्जा की बर्बादी है।
हम सोने का उपयोग क्यों करते हैं?
कुछ लोग सामान्य एल्यूमिनियम रिफ्लेक्टरों का उपयोग करते हैं… लेकिन ऐसे रिफ्लेक्टर बहुत अधिक ऊर्जा शोषित कर लेते हैं। हम सोने से ढके रिफ्लेक्टरों का ही उपयोग करते हैं।
यह तो उपकरणों को सुंदर दिखाने के लिए नहीं है… बल्कि इन्फ्रारेड प्रकाश के भौतिकीय सिद्धांतों के कारण ही ऐसा किया जाता है। सोना, ऊर्जा को वेफर पर ही वापस भेजने में बहुत ही प्रभावी है। इससे ऊर्जा उपकरण के अन्य हिस्सों में नहीं जाती… बल्कि वेफर पर ही रहती है। इससे आपको अधिक ऊर्जा मिलती है… और बिजली की लागत भी कम रहती है।
कठिनाइयाँ
आवश्यक तापमान प्राप्त करने हेतु, इन लैंपों को बहुत ही गर्म रखना पड़ता है। लेकिन इसका एक नुकसान भी है… इतनी अधिक ऊर्जा से स्थानीय तापमान बहुत ही अधिक हो जाता है। यदि आपकी शीतलन प्रणाली इस बढ़ते तापमान को संभाल नहीं पाती, तो लैंप खराब हो सकते हैं। यह तो एक बड़ी समस्या है।
हम क्वार्ट्ज की विकिरण क्षमता एवं सोने की परतों पर बहुत ही ध्यान देते हैं… जितना अधिक ध्यान दिया जाए, उतना ही बेहतर है। PID कंट्रोलरों का उपयोग करते समय बहुत ही सावधान रहना आवश्यक है… एक छोटी सी गलती से ही वेफर पर अतिरिक्त ऊष्मा पैदा हो सकती है।
वास्तविक उपयोग
जब आप इन लैंपों को UHP सिस्टम में जोड़ते हैं, तो सब कुछ सही तरीके से संरेखित होना आवश्यक है।
यदि आप कुछ मिलीमीटर भी गलती कर देते हैं, तो आपकी ऊष्मा दक्षता 10% या 15% तक कम हो सकती है। हमने इन लैंपों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि आप इन्हें बिना किसी परेशानी के ही जोड़ सकें।
एक और बात… सोने की सतह को हमेशा स्वच्छ रखें। थोड़ी सी धूल या ऑक्सीकरण भी विकिरण क्षमता को कम कर सकता है।