फोटोरेसिस्ट को सुखाने हेतु उपयोग में आने वाला यह लैंप, वास्तव में एक थर्मल उपकरण है। इसमें ±0.1°C की सटीकता आवश्यक है; क्योंकि थोड़ी भी त्रुटि से वेफरों की गुणवत्ता प्रभावित हो जाती है, और वे बेकार हो जाते हैं। यदि लैंप ठीक से काम नहीं करता, तो इसका परिणाम रीवर्क, बर्बाद हुए वेफर एवं अनप्लान्ड डाउनटाइम के रूप में सामने आता है। इसलिए हमने SiC फर्नेस लैंप विकसित किया, ताकि यह लगातार काम कर सके।
इस लैंप का कोर, शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटर है – क्वार्ट्ज कवर में सिलिकॉन कार्बाइड है, जिससे तेज़ एवं स्थिर प्रतिक्रिया प्राप्त होती है। हम चाहते हैं कि बेकिंग क्षेत्र में वेफरों का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहे; जबकि विभिन्न बैचों में यह मान ±0.5°C के भीतर ही रहे। आउटपुट को “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” दोनों प्रकार की प्रक्रियाओं हेतु समायोजित किया जा सकता है।
यह लैंप क्लीनरूम-अनुकूल है; इसे क्लास 1–100 वाले वातावरण में उपयोग किया जा सकता है, एवं इससे कोई कण भी उत्पन्न नहीं होता। इससे फोटोरेसिस्ट में कोई दूषण नहीं होता। हमने ऐसे लैंपों को 5,000+ घंटों तक चलते हुए देखा है; इनका आउटपुट 5% से भी कम गिरा है। ये लैंप 24/7 काम करने हेतु डिज़ाइन किए गए हैं।
लिथोग्राफी प्रक्रिया में, यह लैंप पुराने हैलोजन/मीडियम-वेव सिस्टमों का विकल्प है – इसके लिए कोई नए नियम लागू करने की आवश्यकता नहीं है। इससे त्वरित स्थिरीकरण होता है, बेकिंग प्रक्रिया में कम विचलन होता है, एवं प्रति वेफर पर ऊर्जा खर्च भी कम होता है। यह लैंप मानक फर्नेस उपकरणों में भी उपयोग में आ सकता है; इसका थर्मल प्रोफाइल अंतरराष्ट्रीय मानकों के अनुरूप है।
इस लैंप की स्थापना बहुत ही सरल है – बस उपकरणों को सही तरीके से व्यवस्थित करना एवं कूलेंट फ्लो को सही रखना ही पर्याप्त है। यदि रिफ्लेक्टर ठीक से व्यवस्थित न हों, या कूलिंग पर्याप्त न हो, तो थर्मल प्रोफाइल प्रभावित हो जाता है। लैंप को चालू करने से पहले चेम्बर की ज्यामिति एवं ऊर्जा आपूर्ति की जाँच आवश्यक है। एक बार ऐसा हो जाने के बाद, यह लैंप एक बेहतरीन थर्मल स्रोत के रूप में काम करता है – ठीक वहीं, जहाँ आपको इसकी आवश्यकता है।