सिर्फ इसलिए ही हम ट्रॉली हीटरों में सोने से लेपित रिफ्लेक्टरों का उपयोग करते हैं
जब हम सेमीकंडक्टर उत्पादन हेतु उपयोग में आने वाले ट्रॉली हीटरों का उपयोग करते हैं, तो हमारा ध्यान केवल एक ही चीज पर होता है – वह है वेफर पर ऊष्मा पहुँचाना। हम अपनी ऊर्जा या बजट को मशीन के धातु ढाँचे को गर्म करने में खर्च नहीं करना चाहते।
यहीं पर सोने का उपयोग महत्वपूर्ण हो जाता है।
सोने के लेप का लाभ
यदि हम सामान्य एल्यूमिनियम रिफ्लेक्टरों का उपयोग करें, तो हम बहुत सारी ऊर्जा बर्बाद कर देंगे। वह ऊर्जा या तो अवशोषित हो जाती है, या हवा में फैल जाती है। यह बेकार है।
लेकिन उच्च शुद्धता वाली सोने की परत लगाने से, इन्फ्रारेड स्पेक्ट्रम में रिफ्लेक्टिविटी 98% से भी अधिक हो जाती है। इसे ऊष्मा के लिए एक “दर्पण” के रूप में समझ सकते हैं। ऐसे में हीटर पूरे कमरे को गर्म नहीं करता, बल्कि ऊष्मा किरणों को सीधे वेफर पर ही भेजता है।
परिणाम? वेफर पर ऊष्मा एकसमान रूप से वितरित होती है, और लक्षित तापमान तक पहुँचने में कम समय लगता है। यह बहुत ही कुशल तरीका है।
ऊष्मा को नियंत्रित करना
लेकिन यहाँ एक समस्या है… वेफर को सही तापमान पर लाने हेतु, इन हीटरों में बहुत अधिक ऊर्जा उपयोग में आती है। यह वेफर के लिए तो अच्छा है, लेकिन ट्रॉली के ढाँचे पर बहुत दबाव पड़ता है। यदि सावधान न रहा जाए, तो यह ऊष्मा पूरे क्लीन रूम में फैल जाएगी, जिससे वेफर पर असमान तापमान उत्पन्न हो जाएगा।
इसलिए आपके ट्रॉली का ढाँचा ठीक से वेंटेटेड होना चाहिए, या उसमें अच्छा हीट सिंक होना आवश्यक है। ऊष्मा को वेफर के ही स्थान पर ही रखना आवश्यक है, न कि अन्य जगहों पर।
इन रिफ्लेक्टरों का उपयोग कैसे करें?
हमने ऐसे रिफ्लेक्टरों को “ड्रॉप-इन” रिप्लेसमेंट के रूप में ही डिज़ाइन किया है; इसलिए इनका उपयोग करने हेतु पूरे सिस्टम को फिर से बनाने की आवश्यकता नहीं है।
सोने की सबसे अच्छी बात यह है कि यह रासायनिक रूप से स्थिर होता है। यह जंग नहीं लगता, ऑक्सीकृत नहीं होता, और कुछ सौ बार गर्म होने के बाद भी इसकी सतह नष्ट नहीं होती। इसलिए आपको पॉलिश्ड स्टील या एल्यूमिनियम की तरह की समस्याओं का सामना नहीं करना पड़ेगा।
सेटअप हेतु एक छोटी सी सलाह: अपने पावर सप्लाई की जाँच अवश्य करें। यदि वोल्टेज में उतार-चढ़ाव हो, तो हीट आउटपुट भी बदल जाता है। इससे वेफर पर असमान तापमान उत्पन्न हो जाता है… ऐसा तो कोई भी नहीं चाहेगा। अपने PID लूपों को ठीक से नियंत्रित करें, ताकि आपको कोई समस्या न हो।