כיצד לשלוט בטמפרטורה של הוואפר
כשעובדים בתחום השבבים, “ניקיון” אינו רק ערך חשוב – זו הדרישה הבסיסית. לכן אנו משתמשים בנורות חימום מסוג UHP (אולטרה-היי פיוריטי).
העניין הוא שכשמחממים ואפר של סיליקון, רוצים שכל פוטון יפגע בפני השטח שלו. בזבוז אנרגיה על חימום דפנות התא פירושו פשוט בזבוז כסף ואנרגיה.
למה אנו בוחרים בזהב
יש אנשים שמשתמשים במחזירי אור רגילים מאלומיניום, אך הם סופגים יותר מדי אנרגיה. אנו משתמשים במחזירי אור מצופים בזהב.
זה לא קשור למראה של הציוד – זה קשור לפיזיקה של אור אינפרא-אדום. הזהב מסוגל להחזיר את האנרגיה חזרה למקום הנכון – על הוואפר. במקום שהחום יתפזר לכל כיוון, הציפוי בזהב שומר על החום במקום הנכון. כך ניתן לקבל יותר חום על הוואפר, מבלי להגדיל את חשבון החשמל.
האתגרים
כדי להשיג את רמת החום הנדרשת, על הנורות לעבוד בטמפרטורות גבוהות מאוד. אך זה כרוך בבעיות – כל האנרגיה הזו יוצרת חום עז באזור מסוים. אם מערכת הקירור שלכם לא מסוגלת לעמוד בעלייה בטמפרטורה, עלולים להיווצר נזקים לנורות או לחיבורים. זו בעיה שאין טעם להתמודד איתה.
אנו משקיעים הרבה זמן בוויסות רמת החום. ככל שהפוקוס יותר מדויק, כך ההפרש בטמפרטורה גדול יותר. חשוב מאוד להיות זהירים עם מנגנוני הוויסות – טעות אחת עלולה לגרום לנקודות חם על הוואפר.
הגדרות בפועל
כשמחברים את הנורות למערכת UHP, ההתאמה הנכונה היא הדבר החשוב ביותר. אם ההתאמה לא מדויקת, יכולה יעילות החימום לרדת ב-10% עד 15%. עיצבנו את הנורות כך שניתן יהיה להכניס אותן בקלות, בלי לפרק את כל מערכת החימום.
דבר אחרון: חשוב מאוד שפני השטח של הזהב יהיו נקיים לחלוטין. קצת אבק או חמצון עלולים לפגוע ביעילות החימום.