Obtenir des données thermiques précises dans une usine intelligente
Si vous construisez une usine intelligente, la première chose à faire est d’éliminer les capteurs en contact direct avec la surface du wafer. Vraiment. Dans un équipement de traitement à haut débit, on ne peut pas se permettre de gérer des retards dans la collecte des données. De plus, l’utilisation d’une sonde physique entraîne inévitablement des risques de contamination. C’est pourquoi nous utilisons des systèmes infrarouges. Ils permettent de collecter des données thermiques en temps réel, sans avoir à toucher le wafer. Les données sont ensuite transmises directement au PLC ou au SCADA. C’est simple et efficace.
Pourquoi utilisons-nous les rayons infrarouges ?
Le traitement des wafers repose sur l’uniformité des conditions de traitement. Si il y a quelques degrés de variation sur une surface de 300 mm, cela signifie que le lot est gâché. Les capteurs infrarouges détectent les rayonnements émis par la surface et les convertissent instantanément en valeurs de température. Le meilleur aspect ? Il n’y a pas de « masse thermique » à faire monter en température. Contrairement aux thermocouples, qui mettent du temps à réagir, les capteurs infrarouges fournissent immédiatement la température de surface. C’est rapide. Très rapide. Et cela permet à votre système de contrôle de détecter rapidement toute anomalie de température avant qu’elle ne devienne un problème majeur.
Faire en sorte que les données soient vraiment utiles
Un Capteur, c’est bien, mais ce n’est que le début. Pour une véritable usine intelligente, il est nécessaire que ces données puissent être utilisées efficacement. Nous configurons ces systèmes pour qu’ils génèrent des signaux numériques qui s’intègrent parfaitement dans votre flux de travail Industry 4.0. Vous obtenez ainsi un enregistrement continu du profil thermique de chaque wafer. C’est très utile pour la maintenance : vous pouvez ainsi voir quand les éléments de chauffage commencent à mal fonctionner, et les remplacer avant qu’ils ne tombent en panne complètement.
Les pièges à éviter (car rien n’est parfait)
Les rayons infrarouges ne constituent pas une solution magique. Il faut être prudent quant à l’émissivité de la surface. Si la réflectivité de la surface change pendant un processus, les lectures seraient erronées. Il est donc nécessaire de calibrer le capteur en fonction du matériau traité. Sinon, vous obtiendrez des données fausses. Il y a aussi le problème de la ligne de vision : si des résidus se accumulent sur la lentille, cela bloque le signal. Vos données seront alors erronées. La solution est simple : assurez-vous que le flux de gaz de purge soit correct, et gardez la lentille propre. Ainsi, tout fonctionnera correctement.