Sur le site de fabrication, le traitement du photo-résistant est mesuré en degrés, c’est tout simple. Une variation de 2 °C pendant le processus de cuisson peut entraîner des écarts dans les dimensions critiques du produit final. Même une seule particule issue du chauffage peut suffire à compromettre la qualité du produit. Le tube infrarouge en quartz clair de 2700 W a été conçu pour faire face à ces défis.
Ce qui est important sur le plan technique Vous obtenez 2700 W d’énergie infrarouge grâce à un revêtement en quartz clair, ce qui permet un chauffage direct avec une faible masse thermique. L’augmentation de température se fait rapidement, et le contrôle thermique sur la wafer est précis. En pratique, cela signifie que les paramètres de cuisson sont répétables d’une série à l’autre. La géométrie du tube assure une illumination uniforme, et les matériaux utilisés permettent de réduire les émissions gazeuses – ce qui est crucial lorsqu’on travaille en salle propre.
Pourquoi ça marche chez nous En lithographie et dans le traitement des photo-résists, l’uniformité de la température est essentielle pour contrôler la largeur des lignes et minimiser les défauts. Avec ce tube, vous obtenez des résultats constants sur toute la surface de la wafer, ce qui réduit les besoins de reprise de travail. Sa conception compatible avec les salles propres empêche la formation de particules sur la wafer. De plus, sa réponse rapide réduit le temps d’inactivité entre deux cycles de cuisson. Les avantages sont donc des temps de cycle prévisibles, moins de déchets et moins d’arrêts imprévus.
Ce que vous devez savoir L’installation consiste simplement à adapter la géométrie du tube et du réflecteur à celle du four ou de la plaque de chauffe. Si l’écartement n’est pas correct, des zones surchauffées peuvent apparaître. Vérifiez également la compatibilité de la tension et des connecteurs. Prévoyez également un système d’isolation thermique afin que les composants voisins ne subissent pas d’effets négatifs. Traitez le quartz comme un élément consommable : traitez-le avec soin et prévoyez son remplacement préventif afin d’éviter toute panne au milieu d’une production à haute cadence.