دیگر نیازی نیست از محفظههای خلأ برای پختن قطعات استفاده کنید!
هر کسی که در کارخانههای تولید تراشه کار کرده باشد، میداند که چقدر این کار دشوار است: باید ویفر را گرم کنیم، اما نمیخواهیم که محفظه خلأ به یک فر تبدیل شود.
لامپهای مادون قرمز استاندارد، در واقع لامپهای عادی هستند که گرما را در همه جهات پخش میکنند؛ در شرایط خلأ، این انرژی جایی برای رفتن ندارد و فقط به دیوارههای داخلی دستگاه برخورد میکند. در نتیجه، بدنه دستگاه دچار گرمایش بیش از حد میشود و اپراتورها مجبورند از سوختگی جلوگیری کنند.
اما راه بهتری برای حل این مشکل وجود دارد…
باید گرما را متمرکز کرد، نه اینکه آن را در همه جا پخش کرد.
ما از فناوری مادون قرمز جهتدار برای حل این مشکل استفاده میکنیم؛ به جای اینکه گرما در همه جا پخش شود، از منعکسکنندهها و امیترهای ویژه برای هدایت انرژی به جای مناسب استفاده میکنیم.
تفاوت بسیار زیادی وجود دارد؛ شما میتوانید گرمای لازم برای ویفر را دریافت کنید، اما بخشهای اطراف آن سرد باقی میمانند. شما میتوانید ماشین را لمس کنید، بدون اینکه نگران سوختگی باشید.
مشکلات مربوط به خلأ واقعی هستند.
وقتی که هوا از اتاق خارج میشود، قوانین فیزیک تغییر میکند؛ در نتیجه، دستگاهها دیگر نمیتوانند از روش سرمایش تبادلی استفاده کنند. آنها کاملاً به تابش و منعکسکنندهها برای تخلیه گرما وابسته هستند.
اگر از لامپهای هالوژنی با توان بالا بدون منعکسکننده مناسب استفاده کنید، آن لامپها به سرعت خراب خواهند شد. ما از غلافهای کوارتزی برای جذب گرما استفاده میکنیم، اما باید مراقب منبع تغذیه دستگاه نیز باشیم؛ زیرا این لامپها در هنگام راهاندازی، میتوانند جریان الکتریکی را افزایش دهند.
چرخههای سریعتر، کمتر استرس…
کاهش «گرمای اضافی» نه تنها برای ایمنی مهم است، بلکه برای سرعت نیز ضروری است.
وقتی که دیوارههای محفظه گرما را جذب نمیکنند، دیگر نقش رادیاتور را ایفا نمیکنند؛ در نتیجه، وقتی که نیاز به کاهش دما باشد، دیگر نیازی نیست منتظر خنک شدن یک قطعه فلزی بزرگ باشیم. زمان چرخههای کاری کاهش مییابد و بهرهوری افزایش مییابد.
یک نکته مهم در مورد راهاندازی دستگاه: از سیمهای با دمای بالا استفاده کنید و مراقب هماهنگی اجزا باشید؛ اگر منعکسکننده حتی دو درجه از محل مناسب خود منحرف شود، نقطه گرم، از روی ویفر به دیوارهها منتقل خواهد شد.
و در نتیجه، دوباره به همان نقطه اول برمیگردیم.