تنظیم دقیق دمای ویفرها
وقتی که در محیطهای نیمههادی کار میکنید، «پاکیزگی» فقط یک موضوع اختیاری نیست؛ بلکه اصل اساسی کار است. به همین دلیل از لامپهای گرمایشی با خلوص بسیار بالا استفاده میکنیم.
وقتی که سعی میکنیم یک ویفر سیلیکونی را گرم کنیم، میخواهیم که تمام فوتونها به سطح آن برخورد کنند. هدر دادن انرژی در حین گرم کردن دیوارههای محفظه، در واقع هدر دادن پول و انرژی است.
چرا از طلا استفاده میکنیم؟
بعضی افراد از بازتابندههای آلومینیومی استفاده میکنند، اما این بازتابندهها انرژی زیادی را جذب میکنند. ما از بازتابندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم.
هدف این نیست که تجهیزات ظاهری زیباتری داشته باشند؛ بلکه مسئله مربوط به فیزیک نور مادون قرمز است. طلا در بازتاب انرژی به سمت ویفر بسیار مؤثر است. به این ترتیب، انرژی گرمایشی در جای مناسب خود باقی میماند و نیازی به افزایش میزان انرژی مصرفی نیست.
مشکلات پیش رو
برای دستیابی به چگالی گرمایی مورد نیاز، این لامپها باید در دمای بسیار بالایی کار کنند. اما این کار مشکلاتی را به همراه دارد؛ تمام این انرژی باعث ایجاد گرمای شدید در محل مورد نظر میشود. اگر سیستم خنککننده نتواند با افزایش دما کنار بیاید، ممکن است لامپها آسیب ببینند. این مشکلی است که نمیخواهیم با آن روبرو شویم.
ما زمان زیادی را صرف تنظیم خواص بازتاب نور توسط کوارتز و لایه طلا میکنیم. هرچه تمرکز انرژی بیشتر باشد، گرادیان دما نیز بیشتر خواهد بود. بنابراین باید در استفاده از کنترلکنندههای PID بسیار مراقب باشیم؛ یک اشتباه کوچک میتواند باعث ایجاد نواحی داغ روی ویفر شود.
تنظیمات عملیاتی
وقتی که این لامپها را در سیستم UHP نصب میکنید، تنظیمات دقیق بسیار مهم است. اگر انحرافاتی در محل نصب وجود داشته باشد، بهرهوری گرمایشی میتواند ۱۰ تا ۱۵ درصد کاهش یابد. ما این لامپها را با ابعاد دقیقی طراحی کردهایم تا بتوانید آنها را بدون نیاز به تغییر ساختار کل سیستم گرمایشی، در جای مورد نظر قرار دهید.
نکته آخر: سطح طلا باید کاملاً تمیز باشد. کمی گرد و غبار یا اکسیداسیون میتواند باعث کاهش بازتاب نور شود.