در خط ۳۰۰ میلیمتری، عملکرد پخت فوتورزیست به عنوان نگهبان همپوشانی و یکنواختی ابعاد بحرانی عمل میکند. چند درجه انحراف در سطح ویفر در طول پخت نرم یا پخت سخت میتواند ابعاد بحرانی را از مشخصات خارج کرده و ساعتها کار را دور بریزد. هیتر باید به نقطه تنظیم برسد، آن را بدون نوسان حفظ کند و هرگز ذراتی به محفظه نریزد. آنچه در زیر سطح اهمیت دارد ما از یک لوله هیتر کوارتز با موج متوسط برای گرمایش سریع و تابشی با کنترل حرارتی دقیق استفاده میکنیم. این طیف موج متوسط به طور مؤثری به فوتورزیست و فیلمهای پلیمری متصل میشود، بنابراین شما افزایش دما را به سرعت بدون overshoot دریافت میکنید. یکنواختی دمای سطح ویفر در ±۰.۱ درجه سانتیگراد در سطح پخت حفظ میشود و تکرارپذیری در بین دورها حتی در حالت ۲۴ ساعته در هفته نیز دقیق باقی میماند. این لوله با محیطهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ سازگار است و در طول چرخه حرارتی هیچ ذرهای تولید نمیکند. خروجی در بیش از ۵۰۰۰ ساعت پایدار باقی میماند، با کاهش کمتر از ۵ درصد در شدت تابش. چرا این هیتر با خط لیتو سازگار است در مسیرهای لیتوگرافی و ماژولهای پوشش/پخت، این هیتر دقیقاً به بودجه حرارتی میرسد. پروفایلهای پخت نرم و پخت سخت سریعتر تثبیت میشوند، بنابراین زمان چرخه کاهش مییابد. مصرف انرژی کاهش مییابد زیرا پاسخ موج متوسط مستقیم و غیرضایع است. نتیجه آن افزایش بازدهی از کنترل یکنواخت عرض خط، کاهش تعداد قطعات دور ریختنی و کاهش زمان توقف غیرمنتظره است. طراحی با استانداردهای بینالمللی تجهیزات نیمهرسانا مطابقت دارد و به عنوان یک جایگزین تأییدشده و معادل برای پلتفرمهای موجود عمل میکند. یادداشتهای میدانی قبل از مشخص کردن آن نصب نیازمند جهتگیری و فضای مناسب است. عنصر کوارتز به شوک مکانیکی حساس است و انبساط حرارتی در انتها به این معنی است که باید تحملهای نصب را تنظیم کنید. ولتاژ و ترمینیشن را با مشخصات ماژول خود تأیید کنید و اطمینان حاصل کنید که کنترلر شما قادر به تأمین بار بدون overshoot PID است. جزئیات را به درستی تنظیم کنید و هیتر در تولید، روز به روز عملکرد خواهد داشت.