Přestaňte zahřívat svou vakuovou komoru
Každý, kdo pracoval v továrnách na výrobu polovodičů, zná ten problém: potřebujete zahřát wafer, ale nechcete přeměnit svou vakuovou komoru na troubu.
Standardní infračervené lampy jsou v podstatě žárovky s vyšší účinností – vyzařují teplo do všech směrů. Ve vakuu však toto teplo nemá kam jít. Prostě naráží na vnitřní stěny zařízení. Brzy se tedy chladič zařízení přehřeje a operátoři musí vyhýbat se popáleninám.
Je to opravdu katastrofální situace. Ale existuje lepší způsob, jak to řešit.
Soustřeďte teplo, ne ho jen rozptylujte.
K řešení tohoto problému používáme směrovou infračervenou technologii. Místo toho, abychom nechali teplo unikat všude kolem, používáme speciální reflektory a emitory, které posouvají energii přesně tam, kam potřebujeme – na cíl.
Je to obrovský rozdíl. Wafer dostává veškerou potřebnou hmotnost tepla, zatímco ostatní části zařízení zůstávají chladné. Můžete zařízení dotknout bez obav z popálenin.
Problémy s vakuem jsou reálné.
Fyzika se mění, když odstraníte vzduch z místnosti. Ztrácíte konvekční chlazení, což znamená, že lampy nemohou „dýchat“. Spoléhají se pouze na záření a speciální konstrukce na odvod tepla.
Pokud použijete vysokovýkonovou halogenovou lampu bez vhodného chladiče nebo pevného reflektoru, ta lampa rychle vyhoří. My používáme křemičité obaly, které absorbují teplo, ale pozorujte také napájecí zdroj. Tyto trubice mají tendenci zvyšovat proud během spouštění.
Rychlejší cykly, méně stresu.
Snížení „zbytečného tepla“ není jen otázkou bezpečnosti. Jde také o rychlost. Když stěny komory neabsorbují teplo, přestávají fungovat jako obrovské radiátory. To znamená, že když je potřeba snížit teplotu, nemusíte čekat, až se obrovský kus kovu vychladí. Čas cyklů se zkracuje a výkon roste.
Jen jedna rada ohledně nastavení: používejte vodiče pro vysoké teploty a buďte velmi pečliví ohledně jejich zarovnání. Pokud je váš reflektor odchýlen i o dva stupně, bod s vysokou teplotou se posune z waferu zpět na stěnu. A pak jste zase tam, kde jste začali.