মাথাব্যথা ছাড়াই MEMS ওয়েফারগুলোকে শুকিয়ে নেওয়া সম্ভব।
MEMS সেন্সর তৈরি করার সময় আপনি চাইবেন না যে অতিরিক্ত আর্দ্রতা বা দ্রাবকের ছাপ ওয়েফারটিকে নষ্ট করে দেয়। কিন্তু শুধুমাত্র তাপ ব্যবহার করে ওয়েফারগুলোকে শুকিয়ে নেওয়া যায় না; এর ফলে উপাদানটি ক্ষতিগ্রস্ত হবে এবং অবশিষ্টাংশগুলো জটিল পরিস্থিতি তৈরি করবে।
এজন্যই আমরা শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড (IR) হিটার ব্যবহার করি। ওয়েফারের চারপাশের বাতাসকে উত্তপ্ত করার পরিবর্তে, IR হিটার শক্তিকে সরাসরি ওয়েফারে পাঠায়। এটা খুবই কার্যকর ও সহজ পদ্ধতি। কোনো রাসায়নিক উপাদান বা ঝামেলার দরকার নেই।
এটা কীভাবে কাজ করে?
এটাকে একটি “লক্ষ্যভিত্তিক আঘাত” হিসেবে ভাবুন। হিটারটি ফোটন পাঠায়; জলের অণুগুলো সেই ফোটনগুলো শোষণ করে এবং ফলে তরলটি দ্রুত বাষ্পীভূত হয়ে যায়।
সবচেয়ে ভালো ব্যাপার হলো, এখানে কোনো বাতাস নেই। যারা ক্লিন রুমে কাজ করেছেন, তারা জানেন যে বাতাস মূলত ধুলো ও কণাগুলো সরবরাহ করে। IR হিটিং পদ্ধতিতে এমন কিছুর দরকার নেই।
শক্তি সাশ্রয় (এবং মানসিক চাপ কমানো)
এটাই সবচেয়ে ভালো অংশ। আপনি জানেন না সেই বিশাল থার্মাল চেম্বারগুলোতে প্রাক-উত্তপন করতে এক ঘণ্টা সময় লাগে? IR ল্যাম্প ব্যবহার করলে কয়েক সেকেন্ডের মধ্যেই লক্ষ্য তাপমাত্রা অর্জন করা যায়। এতে বিদ্যুৎ খরচ অনেক কমে যায়। আর রাসায়নিক ড্রাইং এজেন্টগুলো থেকে উৎপন্ন দূষণও থাকে না। এটা অত্যন্ত পরিচ্ছন্ন ও কার্যকর পদ্ধতি।
কিছু সীমাবদ্ধতা
তবে এটা কোনো জাদু নয়। কিছু সীমাবদ্ধতা রয়েছে। IR হিটার কেবলমাত্র সরাসরি দৃষ্টিসীমার মধ্যে কাজ করে। যদি ওয়েফারটির আকৃতি অদ্ভুত হয়, তাহলে কিছু জায়গায় তাপ পৌঁছাবে না। তাই ল্যাম্পগুলো কীভাবে স্থাপন করতে হবে সে বিষয়ে সাবধান হতে হবে। যদি শুধুমাত্র শক্তি বাড়িয়ে এই সমস্যাগুলো সমাধান করার চেষ্টা করা হয়, তাহলে ওয়েফারটির কিনারাগুলো ক্ষতিগ্রস্ত হতে পারে। সঠিকভাবে ল্যাম্পগুলো স্থাপন করতে কিছু পরিকল্পনা দরকার।
আমরা এই সিস্টেমগুলোকে এমনভাবে ডিজাইন করেছি যাতে এগুলো আপনার পুরানো, বেশি বিদ্যুৎ খরচ করা যন্ত্রগুলোর জায়গায় সহজেই বসানো যায়। শুধু একটি বিষয় মনে রাখবেন: ল্যাম্পগুলো চালু হওয়ার সময় আপনার পাওয়ার সাপ্লাই যেন সেই অতিরিক্ত লোড সামলাতে পারে। একবার ল্যাম্পগুলো চালু হয়ে গেলে সবকিছু ঠিক থাকবে।